青田恒韌完成新一輪融資，助力半導體前道電子束量測設備研發(fā)
【化工儀器網 廠商報道】 近日，青田恒韌智能科技有限公司(以下簡稱“青田恒韌”)宣布成功完成新一輪融資。本輪融資由啟迪之星投資，資金將主要用于半導體前道電子束量測設備CD-SEM的研發(fā)制造。
青田恒韌成立于2022年4月24日，注冊資本125萬元，是一家專注于半導體前道電子束量測CD-SEM設備研制的高科技企業(yè)。公司致力于研發(fā)并生產能夠完全替代Hitachi CG5000的CD-SEM設備，以打破該領域長期被國外企業(yè)壟斷的局面。
電子束檢測設備是一種高精度檢測設備，主要利用電子束掃描wafer表面并接收其散射信號，從而獲取wafer表面信息。在半導體領域，電子束檢測設備被廣泛應用于保證和提高半導體產線的良率。然而，電子束檢測設備本身面臨著極高的技術門檻，研發(fā)難度極大。CD-SEM設備領域更是長期被Hitachi等少數(shù)國際巨頭所壟斷。
青田恒韌自成立以來，一直專注于CD-SEM設備的研發(fā)工作。公司團隊成員早在2019年底就率先提出研發(fā)CD-SEM設備的目標，并經過不懈努力，于2023年年中初步掌握了高端CD-SEM用掃描電鏡的底層核心技術。在此基礎上，公司于該年年底完成了CD-SEM設備軟件部分的完整架構工作，為在中國率先取得高端CD-SEM設備“0”的突破奠定了堅實基礎。
青田恒韌創(chuàng)始人趙博士表示，高端的CD-SEM設備(20nm的溝槽量測)涉及到眾多學科以及眾多學科之間的交叉影響問題，是一個極具挑戰(zhàn)性的復雜工程化設備。相比于低端CD-SEM(大于100nm的溝槽量測)，高端CD-SEM的難度要大得多。因此，青田恒韌在研發(fā)過程中一直注重底層核心技術的突破和軟硬件之間的復雜勾稽關系的理清。
本輪融資的完成，將為青田恒韌在CD-SEM設備的研發(fā)和生產方面提供更多的資金支持。公司計劃將資金主要用于進一步加大研發(fā)投入，優(yōu)化產品設計，提高生產效率，以滿足國內外市場對高端CD-SEM設備的需求。
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