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序號

采購項目名稱

采購需求概況

預算金額（萬元）

預計采購日期

1

超分辨超快光譜系統

1.飛秒激光器光源；2.超快瞬態(tài)吸收顯微成像系統；3.超快電鏡；4.拉曼光譜儀；5.振動切片機。

1300

2025年04月

2

光學遙感相機仿真設計與測試設備

采購集成仿真系統、光學設計軟件、動態(tài)干涉儀、600mm口徑平行光管、鏡頭智能化裝調測試系統等國產設備及軟件

1300

2025年04月

3

玻璃基加工設備

擬采購濕法刻蝕機，電鍍機，CVS，電位滴定，涂膠機，去膠機，化鍍機，激光誘導機，研磨機，切割機（玻璃），印刷機，回流機，Flux清洗機，鍵合機（晶圓鍵合），解鍵合機用于玻璃基加工。

2353

2025年04月

4

先進傳感測試系統

擬采購FIB-SEM雙束電鏡 ，臺階儀 ，瞬態(tài)光致發(fā)光光譜測試儀，圓二色譜儀，532nm 脈沖激光器， 超景深光學顯微鏡，氣質聯用儀，用于先進傳感測試。

1755

2025年04月

5

先進測試加工設備

擬采購超連續(xù)譜光纖激光器，魯汶儀器Pishow電感耦合等離子體刻蝕平臺，超導磁體探針臺，物理氣相沉積設備（PVD）設備用于先進測試加工。

1816

2025年04月

6

MEMS傳感器封裝測試設備

擬采購MEMS晶圓片測試、封裝、MEMS傳感器芯片參數測試、可靠性測試等相關設備，用于驗證MEMS傳感器芯片的各項性能與指標。

3007

2025年04月

7

MEMS傳感器特種加工工藝設備

擬采購摻雜設備、深硅刻蝕設備，用于MEMS傳感器摻雜，實現阻值調控；高質量的通孔。

3100

2025年04月

8

光學遙感相機集成裝調相關設備

采購氣浮光學平臺、焦面拼接儀、大口徑平行光管及平面鏡、光學相機智能集成測試系統等國產設備。

2700

2025年04月

9

MEMS傳感器制造設備

擬采購管熱爐、濕法蝕刻、勻膠顯影、干法蝕刻、薄膜沉積等相關設備，用于MEMS傳感器加工制備。

4693

2025年04月

10

光學遙感相機高性能測試設備

采購光譜反射率及發(fā)射率測試儀、高性能示波器和矢量網絡分析儀、激光干涉儀等設備、紅外熱像儀、紅外光譜輻射計、可見近紅外光譜輻射計、可見短波紅外光譜輻射計、振動模態(tài)測試分析系統、大氣傳輸軟件等進口設備及軟件。

19000

2025年04月

11

光學遙感相機環(huán)境試驗相關設備

采購振動臺、高低溫試驗類設備、真空罐、光學相機測控溫系統等國產設備。

1100

2025年04月

12

光學遙感相機成像性能測試相關設備

采購輻射響應測試裝置、光譜定標、積分球光源、真空低溫黑體、相機地檢及成像測試系統、相機轉臺等國產設備。

1200

2025年04月

13

光電微納掃描測頭檢測與裝調設備

為滿足光電微納掃描測頭研制過程的檢測與裝調需求，采購進口設備包括LDLS高亮寬譜光源、LDLS光纖輸出光源、高精度六足并聯調整臺等，國產設備包括300mm離軸反射式平行光管、可見光平行光管等。

556.5

2025年04月

14

超分辨工業(yè)相機性能測試相關設備

為滿足超分辨工業(yè)相機性能測試需求，采購進口設備包括寬光譜MTF測量儀等，國產設備包括可見光至短波紅外光譜掃描成像系統、中波紅外光譜掃描成像系統、小型六足并聯調整臺、多自由度雙工件臺系統等。

1162

2025年04月

15

顯微物鏡超精密檢測與裝調設備

為滿足顯微物鏡超精密檢測與裝調需求，采購進口設備包括中心偏差測量儀、高精度折射率測量儀、超精密定心車與單點車、紫外至近紅外分光光度計。

1398

2025年04月

16

晶圓缺陷檢測裝備研制項目

為滿足晶圓缺陷檢測裝備研制過程中的檢測、裝調、實驗需求，采購進口設備包括266nm紫外干涉儀，采購國產設備包括四維精密運動臺、高速旋轉掃描臺、高功率深紫外激光器、高功率紫外連續(xù)激光。

1165.5

2025年04月