長處
紅外透射膜厚度監(jiān)測器可測量電池隔膜等半透明片材、黑色光刻膠等低反射膜和硅的厚度。 它是一種紅外吸收涂層測厚儀,可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級別到生產(chǎn)過程中的在線檢查的所有情況。
它是一種紅外薄膜測厚儀,采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng),可通過同時測量 100 多個波長的光譜儀,準(zhǔn)確測量薄膜厚度、密度、成分等多個參數(shù)。
測量示例(硅襯底上黑色光刻膠的膜厚)
可以測量硅襯底上黑色光刻膠的薄膜厚度,而使用反射光譜法使用光學(xué)干涉涂層測厚儀很難做到這一點(diǎn)
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