氦質(zhì)譜檢漏儀

移動(dòng)式檢漏儀針對(duì)快速達(dá)到抽速要求和響應(yīng)時(shí)間短進(jìn)行優(yōu)化，以滿足大部件測(cè)試的需要。半導(dǎo)體加速器太陽(yáng)能行業(yè)真空鍍膜杰出性能，快速測(cè)試ASM 390 和 ASM 392 的泄漏檢測(cè)解決方案，可用于半導(dǎo)體和顯示器產(chǎn)業(yè)以及其他要求很高的應(yīng)用，這些應(yīng)用需要快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。兩種型號(hào)都符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。這些檢漏儀都裝備干式非接觸前級(jí)泵和強(qiáng)大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測(cè)試的理想工具。ASM 392 裝有一臺(tái)額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測(cè)流程，降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。

 耐用、精確、可靠ASM 390 和 ASM 392 的開(kāi)發(fā)是基于實(shí)現(xiàn)任何等級(jí)的操作人員都能上手的設(shè)備。他們都可以在最短的時(shí)間里提供優(yōu)秀性能和精確的結(jié)果，從而在現(xiàn)場(chǎng)提高效率。 

符合人機(jī)工學(xué)且操縱靈敏ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺(tái)，人機(jī)工學(xué)設(shè)計(jì)獨(dú)唯，尺寸和高度合適，前部有一輔助手柄，顯示器可自由旋轉(zhuǎn)、可拆卸，前部入口易于連接測(cè)試端口，可用于各種測(cè)試場(chǎng)地，即使狹小的空間也應(yīng)對(duì)自如。

 精巧智能且用戶友好通過(guò)色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉(cāng)和真空波紋管存儲(chǔ)的集成工具箱，在使用地點(diǎn)所有需要的附件無(wú)不齊備，您會(huì)感嘆泄漏檢測(cè)多么輕松。

應(yīng)用 ■半導(dǎo)體行業(yè) ■大面積鍍膜 ■太陽(yáng)能行業(yè) ■加速器 ■真空組件 – 饋通、閥門、波紋管、伸縮接頭 ■激光技術(shù) ■超純介質(zhì)供應(yīng) ■電子部件 ■航空工程 ■醫(yī)療技術(shù)

氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)參數(shù)特點(diǎn)ASM 390 ASM 392可檢測(cè)氣體4He、3He、H2氦氣最小可檢測(cè)泄漏率（真空泄漏檢測(cè)）1 · 10-12 mbar l/s氦氣最小可檢測(cè)泄漏率（吸槍泄漏檢測(cè)）1 · 10-8 mbar l/s氦氣抽速10 l/s 25 l/s前級(jí)容量35 m3/h最大入口測(cè)試壓力20 mbar（可選粗檢模式）無(wú)校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間 (20°C) 2 min入口法蘭DN 40 ISO-KF響應(yīng)時(shí)間< 1 s接口RS-232，I/O，以太網(wǎng)（查詢操作說(shuō)明以獲取更詳細(xì)信息）噪音水平≤ 55 dB (A)工作溫度10-35 °C電源電壓100-240 V，50/60 Hz功耗800 W最高功耗1,600 W重量125 kg 130 kg規(guī)格（長(zhǎng)X寬X高）1,072 x 455 x 1,025 mm配件配件訂貨號(hào)用于 ASM 390 和 ASM 392 的瓶托126561遙控RC10（有線/無(wú)線操作，彩色觸摸屏）124193基本型帶 5 m 的線纜106688三腳快拆扳手 DN 40 KF 118801標(biāo)準(zhǔn)吸槍探頭2) 5 m 長(zhǎng)軟管，9 cm 鋼性噴嘴SNC1E1T1外部通訊盒 ECB-Wifi 125902氦氣噴槍標(biāo)準(zhǔn)112535噴槍 “Elite” 帶附件，裝一箱109951入口粉塵過(guò)濾器2)黃銅，20 µm，DN 40/40 ISO-KF 105842不銹鋼，15 µm，DN 40/40 ISO-KF請(qǐng)咨詢1)可以用以太網(wǎng)創(chuàng)建額外的 COM 端口，從而通過(guò)計(jì)算機(jī)操作檢漏儀2)可以提供其他配置，請(qǐng)聯(lián)系您的當(dāng)?shù)仄瞻l(fā)真空支持版本a ASM 390 CSGB01 ASM 392 ESGB02接口板b基本型 15 針 I/O 0 37 針 I/O 2 37 針 I/O + 以太網(wǎng)1) 4排氣可定制c無(wú)（標(biāo)準(zhǔn)）A排氣管 DN 25 B排氣管 DN 40 C

客戶受益

 ■可操作性高、設(shè)計(jì)緊湊

 ■杰出的泄漏檢測(cè)性能

 ■大型可旋轉(zhuǎn)彩色觸摸屏 

 ■粗抽能力高 (35 m3/h)，可快速排空 

 ■干燥清潔的泵送技術(shù) 

 ■保養(yǎng)要求低 

 ■工作面采用人體工學(xué)設(shè)計(jì) 

 ■發(fā)生污染時(shí)快速恢復(fù) 

 ■直觀菜單，易于操作

 ■集成工具箱，用于存儲(chǔ)附件

 ■快速啟動(dòng) 

 ■高靈敏度，測(cè)量精確

 ■符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)