產(chǎn)品型號(hào)：Pico

控制系統(tǒng)：半自動(dòng)型

  PCCE控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows CE)、PC 控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows POS Ready 2009)

體積：4~15L

真空腔室：

圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約Φ 150 mm, 長(zhǎng) 320 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）或者

矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ  130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ  130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

電極：?jiǎn)螌踊蚨鄬覴IE

樣品支架：選項(xiàng)：（水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源：針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計(jì)：Pirani    Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計(jì)時(shí)器：數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器：

40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W

2.45 GHz: 功率 0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - * 無(wú)級(jí)可調(diào)型

真空泵：KASHIYAMA  

電源：供電電源： 臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位