瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥
- 公司名稱 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/12/11 13:32:29
- 訪問(wèn)次數(shù) 2086
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3C閥門類別 | 工業(yè) | 流動(dòng)方向 | 單向 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥
最大限度地提高生產(chǎn)率
65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì),可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供高水平的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī),可提供改進(jìn)功能。
驅(qū)動(dòng)器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力,可提供全新可控性。這意味著可以非??焖?、精細(xì)和準(zhǔn)確地控制鐘擺閥板的各個(gè)位置,從而在極短的響應(yīng)時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)非常精確的下游壓力控制。閥門的預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)序列可根據(jù)各種不斷變化的工藝參數(shù),對(duì)速度和路線進(jìn)行調(diào)整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經(jīng)過(guò)優(yōu)化的阻尼關(guān)閉運(yùn)動(dòng)可避免傳統(tǒng)閥門常見(jiàn)的沖擊和振動(dòng)。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無(wú)礙,幾乎察覺(jué)不到關(guān)閉和打開。閥板提供非常精確的機(jī)械引導(dǎo),可確保往復(fù)運(yùn)動(dòng)中的無(wú)接觸氣流控制,并在密封運(yùn)動(dòng)的所有區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻的密封。
65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其的可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。
65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14"),采用鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成,帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接。可集成定制法蘭,也可作為直接安裝選項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠,并且可根據(jù)要求使用其他材料。
控制器可采用特殊控制算法(自適應(yīng)、固定 PID、上游、軟抽)??刂破魃系母鞣N標(biāo)準(zhǔn)端 口可通過(guò)個(gè)人計(jì)算機(jī)或連接到過(guò)程控制單 元 (PCU) 輕松訪問(wèn)。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準(zhǔn) 65.3 控壓擺閥并簡(jiǎn)化維護(hù)計(jì)劃
65.3 高真空控壓擺閥 主要特點(diǎn)
特點(diǎn):
快速精確的壓力控制
無(wú)沖擊操作:無(wú)粒子生成
提高工藝穩(wěn)定性:可控制所有流量和壓力
帶有控制性能分析儀 (CPA) 的 32 位集成壓力調(diào)節(jié)器 (IC2)
“即插即用”改造:無(wú)需校準(zhǔn)或匹配
優(yōu)勢(shì):
可靠性、精度和速度
維護(hù)周期延長(zhǎng)
運(yùn)行成本低
瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥
技術(shù)數(shù)據(jù)
尺寸 | DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14") | ||
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驅(qū)動(dòng)器 | 帶集成壓力控制器的步進(jìn)電機(jī) | ||
閥體材料 | 鋁:鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 | ||
饋通件 | 驅(qū)動(dòng)器 密封圈 | 旋轉(zhuǎn)饋通件 軸饋通件 | |
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 | ISO-F, JIS | ||
泄漏率閥體 | 鋁 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1 | |
泄漏率閥座 | 鋁 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1 | |
壓力范圍 | 鋁 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) | |
首維護(hù)前開關(guān)次數(shù)1) | 壓力控制 關(guān)閉/打開 | 100 萬(wàn)次 20 萬(wàn)次 | |
溫度 | 閥體 控制器 | ≤ 120 °C 最大 50℃(建議 ≤35℃) | |
材料 | 閥體、閥板 | EN AW-6061 (3.3211) | |
密封圈 | EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) | ||
其他部件 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) | ||
密封 | 閥蓋、閥板、 閥體饋通件 | 氟橡膠(含氟彈性體) | |
安裝位置 | 任何位置 |