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瑞士VAT閥67.0 對稱控制閥

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海茂碩機械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個市場有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購進貨,您可以避免國內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且歐洲原裝的采購服務(wù)。

對于一些德國產(chǎn)品,我們通過集中批量采購以獲取廠商較大折扣,可以提供比國內(nèi)市場價格更低的報價。

能夠提供不同國別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價格上我們有很大的優(yōu)勢,公司備有大量的現(xiàn)貨,是國內(nèi)庫存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購買我們的產(chǎn)品,對我們的服務(wù)有更滿意的評價!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢品牌主要有:

德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費斯托,

德國STEIMEL施*泵,德國HIRSCHMAN赫斯曼,德國HYDAC賀德克,

德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

美國紐曼帝克,美國AB,美國FAIRCHILD仙童,美國DENISON丹尼遜,

德國P F倍加福,德國BALLUFF巴魯夫,德國SICK施克,德國E H,

意大利UNIVER氣動,意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

德國SCHMERSAL施邁賽,德國SIEMENS西門子,美國ROSS閥,

美國MAC電磁閥,美國PARKER派克,美國MOOG穆格伺服閥,

美國派克電磁閥,美國威格士電磁閥,美國ASCO阿斯卡,

德國STAUFF西德福,德國NEGELE耐格,德國EMG伺服閥,

德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

美國UE壓力開關(guān),美國MTS位移傳感器,

以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經(jīng)營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產(chǎn)品。

在此歡迎來電垂詢,我們將竭誠為您服務(wù),客戶的滿意,就是我們的成功!

GSR電磁閥,派克閥,力士樂閥,進口

3C閥門類別 工業(yè) 流動方向 單向
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,汽車,電氣,綜合

瑞士VAT閥67.0 對稱控制閥

最大限度地提高質(zhì)量和生產(chǎn)率67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計,可用作下游控制和隔離閥。

工藝室內(nèi)的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量。盡管傳統(tǒng)上,工藝設(shè)計最注重氣體流入,但下游氣流同樣有助于工藝優(yōu)化。

通常,晶圓周圍的氣流越均勻,晶圓上的氣體反應(yīng)就越平穩(wěn)、越同步。

這不僅適用于氣體引入階段,還適用于氣體從艙室排出階段。出口位置設(shè)計或閥門操作期間的流動路徑變化可能造成氣體分布不對稱,阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時間和不平衡對流的形式對晶圓造成負面影響。此外,兩者都可能導(dǎo)致工藝耗氣量增加、流程時間延長。

解決方案是對整個流程周期的氣流設(shè)計進行優(yōu)化。67.0對稱控制閥為這種方法奠定了新基礎(chǔ)。

采用流量優(yōu)化設(shè)計,還能以全新方式設(shè)計工藝室。借助其特殊的打開和關(guān)閉機構(gòu),氣流在整個開關(guān)周期中對稱分布,實現(xiàn)的流量和壓力控制?!败浗佑|”隔離功能強化了這一點。67.0 對稱控制閥移動平緩,可避免任何關(guān)閉沖擊,從而減少粒子生成量。

67.0 對稱控制閥的另一優(yōu)勢是占用空間小。相較于其他解決方案,所需的安裝空間更少。

67.0 對稱控制閥與氣流優(yōu)化的頂噴和艙室設(shè)計相結(jié)合,實現(xiàn)了的全新過程控制水平。這有助于提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短循環(huán)周期,從而提高生產(chǎn)率。67.0 對稱控制閥可提供 DN 為 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。閥體材料為鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁。泵側(cè)的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-F 或 JIS。艙室法蘭采用專有設(shè)計。法蘭、閥板和驅(qū)動器采用彈性體密封。饋通件采用波紋管密封。閥板加熱器為選件。67.0 對稱控制閥由兩個帶有閉環(huán)控制步進電機的同步線性驅(qū)動器驅(qū)動。現(xiàn)代 32 位控制器可借助個人計算機或 PCU 通過各種標(biāo) 準(zhǔn)端口進行連接。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件能夠詳細監(jiān)測 67.0 對稱控制閥并調(diào)整周期性運動。67.0 對稱控制閥計劃在維護前,進行200 萬次控制周期和 20 萬次隔離周期。可快速輕松地完成更換密封件等維護要求瑞士VAT閥67.0 對稱控制閥

67.0 對稱控制閥主要特點

特點

壓力控制和隔離氣流優(yōu)化設(shè)計閥加熱器選項波紋管饋通件

優(yōu)勢:在整個開關(guān)周期對稱流動無沖擊操作,避免粒子生成出色的壓力控制性能易于維護

瑞士VAT閥67.0 對稱控制閥



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