等離子刻蝕清洗機(通用儀器)
- 公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2017/5/15 13:49:51
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等離子刻蝕清洗機(通用儀器)
等離子刻蝕清洗機(通用儀器)通過等離子體與固體表面的相互作用,消除固體表面的有機污染物,固體如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時可以用等離子處理系統(tǒng)對樣品表面進行 處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 生物芯片領(lǐng)域
- 醫(yī)用材料、光學材料研究
- 電子半導(dǎo)體領(lǐng)域
- 高分子材料研究
- 電化學、零部件處理
- 有機材料的灰化、刻蝕
儀器性能:
- 自動調(diào)頻高頻發(fā)生器
- 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵
- 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF) .
- 真空監(jiān)測.
- 雙重氣流針閥控制
- 精確時間定時
- 微處理器程序設(shè)置
- LCD狀態(tài)數(shù)字顯示
- 抽屜式結(jié)構(gòu),樣本操作方便
- 聚碳酸脂安全防護
技術(shù)參數(shù)
電鏡有機樣本的刻蝕尺寸 | 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) |
工作腔室 | 派熱克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) |
重量 | 25Kg |
等離子體輸出 | zui大150w,13.56 MHz |
真空度 | >ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar |
時間控制 | zui長可設(shè)置99小時59分鐘 |
雙重氣流控制 | 雙重針閥氣流控制,可選1種或2種氣體(校準 5-100cm3/min air at A.T.P) |
電源 | 230 V, 50Hz (3 amp Max) |