LCS系列 全自動硅片甩干機廠家
- 公司名稱 山東濟寧魯超超聲設備有限公司
- 品牌
- 型號 LCS系列
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/3/11 15:55:11
- 訪問次數(shù) 3907
聯(lián)系方式:岳永杰13853766211 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
無損檢測儀器有:涂層測厚儀、電火花檢測儀、超聲波測厚儀、超聲波探傷儀等。 功率超聲設備有:超聲波清洗機、超聲波清洗流水線、甩干機、超聲波洗瓶機、超聲波中藥處理機、超聲波膠塞清洗機、超聲波濾芯清洗機、超聲波乳化器等。
全自動硅片甩干機是一種專門用于半導體制造過程中的高精密設備,主要用于清洗和干燥硅片。這種設備通過自動化的流程,能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物,確保硅片的清潔度和干燥度,從而滿足后續(xù)工藝的要求。
主要特點:
1.彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控,可存儲多種工藝菜單
2.腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學拋光處理
3.去離子水電阻率監(jiān)控功能
4.無刷電機驅動
5.氮氣溫度控制
6.轉軸氮氣密封
7.具有鎖蓋防護功能
8.故障診斷、顯示、報警功能
9.可提用戶特殊要求配置
全自動硅片甩干機采用高潔凈度的旋轉沖洗甩干功能,能夠適應不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求。設備設計可以適應不同直徑的硅片,包括方形和其他特殊形狀的材料。
設備采用全自動控制,包括去離子水沖洗和加熱的氮氣干燥,實現(xiàn)晶片襯底后的濕化學方法的自動化處理。具備多項技術性能指標,如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等,確保操作的安全性和穩(wěn)定性
包括使用氮氣和去離子水的相關安全性技術要求,如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等部分設備采用PLC和觸摸屏控制,實現(xiàn)整個過程的智能化,具有故障實時顯示和報警功能。設備設計考慮了節(jié)能和效率,如整個甩干過程一般只需5-6分鐘。主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并進行電化學拋光處理,以提高設備的耐用性和清潔度。旋轉機構經過精密動平衡處理,保證工作時的平衡性,并采用特種減振器以實現(xiàn)精密減振和阻尼。
設備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模,滿足不同應用需求。