氣體稀釋校準(zhǔn)儀

標(biāo)準(zhǔn)配置

氣動部分
稀釋氣質(zhì)量流量控制器，0～10 SLM
源氣質(zhì)量流量控制器，0～100 SCCM
2個校準(zhǔn)氣輸入接口和一個清洗接口
4個輸出接口和一個出風(fēng)口
1個稀釋氣輸入接口

電子器件
高亮度彩色顯示屏（顯示為黑白EL屏）
42鍵觸摸鍵盤
8位數(shù)字I/O接口
2個串行數(shù)據(jù)通訊接口
外部PC鍵盤輸入接口
并行打印機(jī)接口
氣源控制接口

電動部分
98～264 VAC，150～300 VA，50/60 Hz運(yùn)行

Sabio 2010D型氣體稀釋校準(zhǔn)儀
可選配置
稀釋氣質(zhì)量流量控制器，范圍0～20 SLM
源氣質(zhì)量流量控制器，范圍0～1 SLM
第二個源氣質(zhì)量流量控制器，范圍0～1 SLM
額外的校準(zhǔn)氣接入口
滲透口
內(nèi)置臭氧發(fā)生器
臭氧發(fā)生器UV隨動控制回路
側(cè)裝便攜帶
耐抗擊的運(yùn)輸箱
以太網(wǎng)TCP/IP容量

Sabio 2010D型
產(chǎn)品規(guī)格

稀釋系統(tǒng)
稀釋氣進(jìn)口：1個標(biāo)準(zhǔn)接口
源氣進(jìn)口：2個標(biāo)準(zhǔn)接口，1個清洗接口
額外進(jìn)口：2個額外接口
稀釋氣質(zhì)量流量控制器：0～10 SLPM；可選范圍0～20 SLPM
源氣質(zhì)量流量控制器：0～100 SCCM；可選范圍0～1 SLPM
第二個源氣質(zhì)量流量控制器：0～1 SLPM
流量準(zhǔn)確度：≤±1%滿量程
流量重現(xiàn)性：≤±0.15%滿量程
線性：≤±0.5%滿量程
輸入壓力：20～35 psig
輸出接口：4個標(biāo)準(zhǔn)輸出口

可選的內(nèi)置臭氧發(fā)生器
輸出：0.05～1.5 ppm@5SLPM
準(zhǔn)確度：±2%或者±3 ppb@5SLPM
流量：100 SCCM，±1 SCCM
UV燈溫度：50 ℃，±0.1 ℃

校準(zhǔn)界面
運(yùn)行：通過42鍵觸摸鍵盤手動控制
校準(zhǔn)設(shè)置：20個出廠設(shè)定的校準(zhǔn)序列，每個序列zui多20個校準(zhǔn)點(diǎn)
校準(zhǔn)類型：氣體稀釋，臭氧，GPT
氣體設(shè)定：1個稀釋氣，20個源氣
自動校準(zhǔn)：根據(jù)用戶設(shè)定的7天內(nèi)的校準(zhǔn)事件，提供20個定時驅(qū)動的校準(zhǔn)路徑
數(shù)字I/O：8位I/O控制校準(zhǔn)功能
接口：RS232

校準(zhǔn)系統(tǒng)
運(yùn)行溫度：5～40 ℃
規(guī)格尺寸：6.2"（15.6 cm）H×14.3"（36.4 cm）W×12.4"（31.6 cm）D
重量：19 lbs.（8.6 kg）
輸入電壓：98～264 VAC，100 VA，50/60 Hz