21V系列帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。該集成氣動(dòng)切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其max大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

產(chǎn)品特點(diǎn) ：

● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 帶氣動(dòng)截止閥，泄漏率低
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（至多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

 21V系列帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

技術(shù)參數(shù) ：

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料下載”中氣體兼容表

一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量程比：200:1

max大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率：不超過(guò)1x10 atm scc/sec (He)

重復(fù)性：± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

響應(yīng)時(shí)間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間：<1s

標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-100%,無(wú)冷凝

標(biāo)準(zhǔn)max大工作壓力：1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)：2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì)：316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強(qiáng)尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE

安裝方式：對(duì)位置無(wú)要求 防護(hù)等級(jí)：IP40

* 如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及

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產(chǎn)品選型 ：

應(yīng)用及案例 ：

● 大學(xué)/研究所
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 半導(dǎo)體
● 光伏
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

認(rèn)證證書(shū) ：