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HRMS-800 半導(dǎo)體材料 高溫 四探針 測(cè)試儀
| 參考價(jià) | ￥ 15 |
| 訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 武漢佰力博科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) HRMS-800
- 產(chǎn)地 中國(guó)武漢
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/10/16 13:48:21
- 訪問(wèn)次數(shù) 384
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佰力博高溫四探針測(cè)試儀采用*雙電測(cè)四探針測(cè)量原理，專門用于評(píng)估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能，該系統(tǒng)采用直排四探針測(cè)量原理和單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)研發(fā)，可以實(shí)現(xiàn)高溫、真空及惰性氣氛條件下測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率和硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。高溫測(cè)量過(guò)程中，控溫精度可達(dá)到±1℃。
雙電測(cè)組合
目前雙電測(cè)組合（亦稱雙位組合）四探針?lè)ㄓ腥N模式：I13V24和I14V23模式（1），I12V34和I14V23模式（2），I12V34和I13V24模式（3），HRMS-800高溫四探針測(cè)試儀采用模式（2），通過(guò)用計(jì)算機(jī)對(duì)三種模式的理論進(jìn)行比較研究的結(jié)果證明：對(duì)無(wú)窮大被測(cè)片三種模式都一樣，可是測(cè)量小片或大片邊緣位置時(shí)，模式（2）更好，它能自動(dòng)消除邊界影響，略優(yōu)于模式（3），更好于模式（1）
技術(shù)參數(shù)
測(cè)量溫度：RT-600℃ | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ |
控溫精度：±1℃ | 樣品尺寸：薄膜φ15~30mm，d＜4mm |
電阻：10-5~105Ω | 輸入電壓：110~220V |
電阻率：10-5~105Ω.cm | 數(shù)據(jù)傳輸：4個(gè)USB接口 |
方塊電阻：10-4~106Ω/□ | 通訊接口：LAN網(wǎng)口 |
電導(dǎo)率：10-5~105 s/cm |
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規(guī)格特點(diǎn)：
★ 可以實(shí)現(xiàn)常溫、高溫、真空、氣氛條件下測(cè)量半導(dǎo)體薄膜材料的電學(xué)性能；
★ 可以測(cè)量半導(dǎo)體薄膜和薄片材料的方塊電阻、電阻率；
★ 可以實(shí)現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測(cè)量功能；
★ 可以通過(guò)輸入樣品的面積和厚度，軟件自動(dòng)計(jì)算樣品的電阻率ρv；
★ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化曲線；
★ 集成一體化設(shè)計(jì)，觸摸屏控制和顯示，具有的易用性；
★ 可以自動(dòng)調(diào)節(jié)施加在樣品的測(cè)試電壓，以防樣品擊穿；
★ 進(jìn)口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛，最高耐溫1100℃，配有超溫報(bào)警電路；
★ 耐高溫四探針夾具，碳化鎢探針，99氧化鋁陶瓷絕緣；
★ 可以通過(guò)USB傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式為Excel格式。
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