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1 / 4F9 10SCCM N2 日本進(jìn)口流量控制器流量計(jì)1/4F9 10SCCM N2

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日本進(jìn)口流量控制器流量計(jì)1/4F9 10SCCM N2

數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥,并具有標(biāo)準(zhǔn)的通訊功能(RS485),可實(shí)現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號為0-5V,電源為±15V。

日本進(jìn)口流量控制器流量計(jì)1/4F9 10SCCM N2

 

數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥,并具有標(biāo)準(zhǔn)的通訊功能(RS485),可實(shí)現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號為0-5V,電源為±15V。
電源連接器使用多功能的D-sub 9槽連接器。
通過旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)開關(guān),可以使用主機(jī)中注冊的氣體類型。
符合RoHS / CE標(biāo)準(zhǔn)。
引出單元是一種方便的單元,可以與質(zhì)量流量控制器或帶有電纜的質(zhì)量流量計(jì)一起使用,以使用質(zhì)量流量的基本功能(例如流量測量和控制)以及流量積分功能和流量事件輸出功能。

產(chǎn)品規(guī)格

型號EX-250S-C
電源電壓±15V
合身1 / 4F900(126.6毫米)
流動性2
FS流量10SCCM
標(biāo)定溫度20℃
輸入信號電壓輸入
輸出信號電壓輸出
工作壓力150?300kPa
傳感器方式熱繞組傳感器
閥門系統(tǒng)比例電磁閥(未通電時關(guān)閉)
目標(biāo)氣體2
流量范圍10SCCM
控制范圍2?100%(FS)
反應(yīng)性1秒內(nèi)的總流量控制范圍(在±2%FS之內(nèi)),150kPa至300kPa
準(zhǔn)確度FS±1.0%
重現(xiàn)性FS±0.2%
工作壓差50?300kPa
大入口壓力500kPa(克)
耐壓性980kPa(大)
他漏率1×10 -8 Pa ? m 3 /秒以下
容許環(huán)境溫度5?50℃
精度保證溫度15?35℃
儲存溫度-10?60℃
容許環(huán)境濕度相對濕度10至90%(無凝結(jié))
氣體接觸零件SUS316,SUS316L,電磁不銹鋼(僅控制器),PTFE,F(xiàn)KM
電氣連接Dsub引腳KFC標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn))HR-10A
流量設(shè)定輸入信號0至5VDC(輸入阻抗約1MΩ)
流量輸出信號0至5VDC(負(fù)載電阻10kΩ或更高)
數(shù)字信號通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址
所需功率(直流)+ 15VDC(±5%)100mA以下,-15VDC(±5%)150mA以下或+ 24VDC(±10%)180mA以下
安裝方向水平推薦
機(jī)重約500克
數(shù)量1個
單位

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 質(zhì)量流量計(jì)1 / 4F9 5SLM N2

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