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SCS112/SCSe124/SCSe126 濕法顯影掩膜版清洗系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) SCS112/SCSe124/SCSe126
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/5/17 10:26:46
  • 訪問次數(shù) 2222

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營(yíng)銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子

濕法顯影掩膜版清洗系統(tǒng)

手動(dòng)型SCS112

SCS112型是一款高效率手動(dòng)型的系統(tǒng),專門設(shè)計(jì)用于在劃片或劃片后清洗晶片??赏ㄟ^(guò)施加高壓DI水射流或霧化噴嘴來(lái)清潔安裝在環(huán)(抓環(huán))或膠片框架上的晶圓,然后使用高轉(zhuǎn)速,氮?dú)廨o助或紅外加熱燈進(jìn)行快速干燥。該系統(tǒng)大可處理8英寸晶圓。

功能:

  • 可處理高達(dá)8英寸的晶圓,包括未安裝的晶片以及膠帶環(huán)形和薄膜框架安裝晶片。
  • 振蕩高壓直流水,風(fēng)扇射流組裝(取決于高達(dá)15002000/平方英寸 配置上)或霧化噴霧噴嘴,高效清潔。
  • 快速有效干燥的氮?dú)獯祾吆脱h(huán)結(jié)束時(shí)的氮晶片提升。
  • 微處理器控制并儲(chǔ)存多種配方。
  • 直流無(wú)刷主軸電機(jī)變速。
  • DI水凈化,營(yíng)造無(wú)細(xì)菌系統(tǒng)。
  • 內(nèi)置安全聯(lián)鎖和正極蓋,運(yùn)行期間鎖定。

選項(xiàng): 

  • 托盤,大可裝載8英寸晶片
  • 用于干燥的紅外線加熱燈
  • 消除靜電的二氧化碳再生離子器
  • 內(nèi)置排氣鼓風(fēng)機(jī)
  • 真空發(fā)生器

產(chǎn)品參數(shù):

  • 產(chǎn)品:晶圓,光掩膜和基板清潔系統(tǒng) 
  • 型號(hào):SCS112
  • 可用機(jī)械臂:1
  • 大基板尺寸:高達(dá)8英寸的晶圓片
  • 大主軸速度:2500
  • 配方:多3
  • 分配:1
  • 尺寸:26英寸寬x 21英寸深x 40英寸高
  • 重量:約200
  • 功率:220伏交流電,10安培,50/60赫茲

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手動(dòng)型SCSe124

SCSe124型是用于光掩模,晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非??煽壳揖哂谐杀拘б?,它經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,擁有各種清潔技術(shù)。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng),包括高壓DI水,霧狀噴嘴,刷子,Megasonic噴嘴等等。快速有效的干燥技術(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水,氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe124具有微處理控制器,該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù),并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序。

功能:

  • 可處理直徑高達(dá)10英寸的基板。
  • 主軸組件帶有直流無(wú)刷電機(jī)(可升級(jí)以獲得更多功能)。
  • 可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置。
  • 徑向排氣腔,可實(shí)現(xiàn)大層流。
  • 獨(dú)立式聚丙烯腔室。
  • 微處理器可控制10個(gè)程序段。
  • 內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
  • 按鈕蓋啟動(dòng) 打開/關(guān)閉。
  • 觸摸屏圖形用戶界面(GUI),易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。
  • 多可使用2個(gè)機(jī)械臂。

產(chǎn)品參數(shù):

  • 產(chǎn)品:晶圓,光掩膜和基板清潔系統(tǒng) 
  • 型號(hào):SCSe124
  • 可用機(jī)械臂:2
  • 大基板尺寸:直徑10英寸晶圓片
  • 大主軸速度:2500
  • 配方:多10
  • 分配:12

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手動(dòng)型SCSe126

SCSe126型是用于光掩模,晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非??煽壳揖哂谐杀拘б?,它經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,擁有各種清潔技術(shù)。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng),包括高壓DI水,霧狀噴嘴,刷子,Megasonic噴嘴等等??焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水,氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe126具有微處理控制器,該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù),并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序。

功能:

  • 可處理直徑高達(dá)10英寸的基板。
  • 主軸組件帶有直流無(wú)刷電機(jī)(可升級(jí)以獲得更多功能)。
  • 可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置。

     徑向排氣腔,可實(shí)現(xiàn)大層流。

     獨(dú)立式聚丙烯腔室。

     微處理器可控制10個(gè)程序段。

     內(nèi)置安全聯(lián)鎖。

     按鈕蓋啟動(dòng) 打開/關(guān)閉。

     觸摸屏圖形用戶界面(GUI),易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。

     多可使用4個(gè)機(jī)械臂。

?產(chǎn)品參數(shù):

  • 產(chǎn)品:晶圓,光掩膜和基板清潔系統(tǒng) 
  • 型號(hào):SCSe126
  • 可用機(jī)械臂:4
  • 大基板尺寸:直徑10英寸晶圓片
  • 大主軸速度:2500
  • 配方:多10
  • 分配:12


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