爐管清洗機Tube Cleaner
 - 兼容多種尺寸零部件清洗,自動補、配液，可兼容多種濃度配比；
 - 工藝窗口開放，各工藝時間可自由設定；
 - 配置PLC、HMI便于參數(shù)設定、過程監(jiān)控，操作更簡潔；
 - 軟件各級互鎖、多重權限控制。

無錫亞電智能裝備有限公司是半導體晶圓行業(yè)濕法制程服務商，專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術，是*批推進半導體設備國產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設備，包括槽式設備和單片設備，涵蓋多種前道濕法工藝，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達成友好合作。