UL5000移動(dòng)式氦氣檢漏儀（干式）

inficon UL5000檢漏儀維修

ULTRATEST™傳感器技術(shù)

定義泄漏檢測(cè)的速度和準(zhǔn)確性

INFICON UL5000氦氣檢漏儀旨在滿(mǎn)足關(guān)鍵和苛刻的檢漏應(yīng)用。UL5000在經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的真空設(shè)計(jì)中采用了INFICON專(zhuān)有軟件算法I-CAL和Hydro-S，可提供測(cè)試靈活性，高靈敏度和快速準(zhǔn)確的結(jié)果，從而使任何泄漏檢測(cè)應(yīng)用都變得便捷。

UL5000在所有測(cè)量范圍內(nèi)均提供快速響應(yīng)時(shí)間，在達(dá)到測(cè)試條件和終結(jié)果時(shí)，循環(huán)時(shí)間極短。特殊設(shè)計(jì)的真空架構(gòu)可提供持續(xù)的高氦氣抽速和所需的極快響應(yīng)時(shí)間。

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優(yōu)點(diǎn)

HYDRO-S（氫抑制）可快速達(dá)到測(cè)試條件。

I-CAL（智能-泄漏率計(jì)算算法）可確保快速響應(yīng)所有測(cè)量范圍內(nèi)的泄漏。

一種特殊的多入口渦輪分子泵，可在所有壓力下提供優(yōu)化的高氦抽速和高氦壓縮率，以提供出色的靈敏度，響應(yīng)和快速清理。

增壓渦輪分子泵，可對(duì)任何測(cè)試對(duì)象（包括大的容積和大的腔室）做出極快的響應(yīng)。

經(jīng)過(guò)多年現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的INFICON磁性扇形質(zhì)譜儀可實(shí)現(xiàn)*，免維護(hù)的多年準(zhǔn)確而可重復(fù)的結(jié)果。

自我保護(hù)功能可保護(hù)UL5000免受氦氣和微粒污染，甚至具有自動(dòng)吹掃周期，以確保在需要時(shí)可以準(zhǔn)備好UL5000。

可旋轉(zhuǎn)的顯示/控制界面和可選的遠(yuǎn)程手持控制器，具有操作靈活性。

可以通過(guò)該軟件啟用對(duì)單元和系統(tǒng)軟件的訪問(wèn)控制，以防止未經(jīng)*的使用或?qū)y(cè)試設(shè)置的意外修改。

通過(guò)電子郵件進(jìn)行軟件更新，以使您的UL5000保持佳性能。

工作站設(shè)計(jì)具有佳高度的工作表面，包括ESD墊和工具箱，以方便測(cè)試。

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體和平板顯示工具上使用的組件，組件和大容器的泄漏測(cè)試

半導(dǎo)體和平板工具的泄漏測(cè)試

航空航天零部件，組件和系統(tǒng)的泄漏測(cè)試

儲(chǔ)存容器/儲(chǔ)存罐的泄漏測(cè)試

技術(shù)指標(biāo)

類(lèi)型 UL5000氦氣檢漏儀

小 可檢測(cè)到的氦氣泄漏率（真空模式） 毫巴•升/秒

<5•10 -12

inficon UL5000檢漏儀維修

小 可檢測(cè)到的氦氣泄漏率（嗅探器模式） 毫巴•升/秒 8E-8

高 進(jìn)氣壓力GROSS模式 毫巴 15

高 進(jìn)氣壓力微調(diào)模式 毫巴 2

高 進(jìn)氣壓力ULTRA模式 毫巴 0.4

疏散時(shí)的抽速 立方米/小時(shí) 50 Hz時(shí)25

氦抽速GROSS模式 升/秒 多8

氦抽速FINE模式 升/秒 多20

氦氣抽速ULTRA模式 升/秒 > 20

可檢測(cè)的質(zhì)量 2,3,4畝

質(zhì)譜儀領(lǐng)域 180°攝氏度

長(zhǎng)絲離子源銥/氧化釔涂層 2

校準(zhǔn)的內(nèi)置測(cè)試泄漏 7號(hào)

測(cè)試口 DN40KF

可調(diào)觸發(fā)器 2

接口 RS232

圖表記錄器輸出 2 x10伏

輸入/輸出 兼容PLC

允許的環(huán)境溫度（運(yùn)行期間） °C +10 ... + 40

重量 140

尺寸（長(zhǎng)x寬x高） 1068x530x1083

電源電壓 230（+-10％）50赫茲

能量消耗 VA 1100

UL5000氦氣檢漏儀

零件號(hào) 描述

14005 SL200，用于UL1000 / 5000 / Modul1000的嗅探器探頭，長(zhǎng)度為4m（需要連接電纜551-205）

14022 遙控器RC1000的延長(zhǎng)電纜，長(zhǎng)8 m

14090 適用于UL1000 / 5000系列的LeakWare

551-001 氦氣瓶架用于UL1000 / 5000

551-010 遙控RC1000C，有線，帶4m盤(pán)繞電纜

551-015 遙控器RC1000WL，無(wú)線，含。無(wú)線發(fā)射器

551-020 RC1000WL無(wú)線發(fā)射器

數(shù)據(jù)表

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宣傳冊(cè)

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RC1000 | EN |

說(shuō)明書(shū)

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RC1000使用說(shuō)明（法語(yǔ)） | EN |

產(chǎn)品目錄

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