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V1000/1000X/1000XS 日本雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

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柜谷科技發(fā)展(上海)有限公司專注于為科研工作者和質(zhì)量控制人員提供一站式實驗室產(chǎn)品與配套服務(wù),致力于成為科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的者與變革者。公司通過自主研發(fā)、品牌運營、品牌代理、實驗室設(shè)計規(guī)劃方案等方式為生物醫(yī)藥、新材料、新能源、化工化學(xué)、精細(xì)化工、食品日化、分析檢測等領(lǐng)域的實驗室提供多方位的綜合服務(wù),覆蓋客戶的研發(fā)準(zhǔn)備、研發(fā)過程、研發(fā)后期、生產(chǎn)質(zhì)控等各個階段,提供“一站式”有競爭力的產(chǎn)品和服務(wù),是國內(nèi)的科學(xué)服務(wù)提供商。(本公司產(chǎn)品都用于實驗室設(shè)備,不用于人體)

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• 我們的服務(wù)是什么?

我們建立“安枕無憂”的售前、售后服務(wù)體系,提供信息咨詢、技術(shù)支持和維保服務(wù),為您的實驗室運營保駕護航。

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我們整合一體化背景下的資源優(yōu)勢,為您提供專業(yè)、綜合、合理的采購供應(yīng)計劃,節(jié)省運營成本。產(chǎn)品資源豐富,擁有眾多代理權(quán),如: Thermo Fisher、HAAKE、WIGGENS、Hitachi、Binder、Rigaku、Picarro等。

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創(chuàng)新技術(shù)解決方案,創(chuàng)新供應(yīng)鏈整合,創(chuàng)新售后保障。我們銷售的,不僅僅是產(chǎn)品,更多的是服務(wù)。創(chuàng)新服務(wù),讓我們做的比昨天更好!

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日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng) 多種用途。
特征
●  可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●  搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
●  可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途
●  硅晶圓的灰化及蝕刻
●  基板表面污垢處理
●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●  半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有機物去除
●  界面活性處理
●  表面污染物去除

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 內(nèi)槽

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 規(guī)格
 

型號V1000V1000XV1000XS
等離子模式DP/RIE
高頻電源13.56MHz
輸出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效電極尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
電極平行平板2段電極(獨立)平板(多目的)
反應(yīng)氣體聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝)
真空泵(標(biāo)配)約1000L/min約1500L/min1000 & 1500L/min
安全裝置門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等


管路連接圖



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