化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備>XT5205H60S12 雪中炭XT5205H60半導(dǎo)體沉淀擴散源溫控
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-1萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,石油,能源,電子/電池 |
采用高精度動態(tài)恒溫控制技術(shù)和SMT裝配技術(shù),很好的控制恒溫波動度達到±0.05℃
采用全封閉磁力泵循環(huán)攪拌,溫場均勻,*泄漏。通過將傳感器與循環(huán)泵液流的一體化設(shè)計,大大提高控溫精度和溫場均勻度。
滿足歐、美、日等國家電源需要的壓縮機制冷系統(tǒng),制冷量與低溫度的完美匹配,滿足多樣化的應(yīng)用需求。
滿足IEC61010-1和IEC61010-2-010要求的高溫保護、液位保護和防止過高溫保護等功能,確保儀器安全運行。
液槽內(nèi)膽、頂板、電熱器和蒸發(fā)器等可能與工作介質(zhì)接觸的部件采用不銹鋼材料,經(jīng)久耐用。
產(chǎn)品應(yīng)用
各種精密低溫恒溫槽,低溫/超低溫恒溫循環(huán)裝置,冷卻水循環(huán)裝置、高低溫試驗箱等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的工藝控制,如:沉淀、刻蝕、擴散、加熱、冷卻、退火等等。
性能指標
型號 | XT5205H60S | ||
溫度范圍 | ℃ | +5~+60(環(huán)境溫度≤40℃)、+15~+40(環(huán)境溫度>40℃) | |
溫度波動度 | ℃ | ±0.05~0.1(環(huán)境溫度≤40℃)、±0.1~0.2(環(huán)境溫度>40℃) | |
顯示分辨力 | ℃ | 0.1 | |
加熱功率 | W | 600 | |
制冷量@20℃BT/RT a)
| W | 300W | |
壓縮機 | W | 120 | |
制冷劑 | R134a | ||
內(nèi)膽材料 | 304不銹鋼,提供其他316L不銹鋼或鈦材的定制
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源瓶隔離套 | 1個,304不銹鋼,內(nèi)壁特氟隆處理
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外殼材料 | 優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板靜電噴涂 | ||
內(nèi)膽尺寸 | mm | 240W×280D×200H | |
源瓶尺寸 | mm | 直徑160(dia)×200H | |
外形尺寸 | mm |
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工作方式/Duty cycle | 連續(xù) | ||
輔助功能 | 數(shù)顯溫度校正,傳感器異常保護和報警,高溫保護和低溫報警,停電恢復(fù),防干燒
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電源 | 230VAC/50Hz; 115VAC/60Hz; 100VAC, 50/60Hz
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