Skyscan1272 微焦點CT-半導(dǎo)體元器件X射線顯微成像系統(tǒng)
- 公司名稱 束蘊儀器(上海)有限公司
- 品牌 Bruker/布魯克
- 型號 Skyscan1272
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/2/12 10:55:46
- 訪問次數(shù) 3976
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,地礦,建材,制藥 |
CT基本原理
微焦點CT-半導(dǎo)體元器件X射線顯微成像系統(tǒng)(3D XRM)是一種基于X射線的成像技術(shù),使用微型計算機斷層掃描技術(shù)(Micro Computed Tomography)。包括掃描和重構(gòu)兩個主要部分,Micro/Nano 表明其分辨率可達到微米/亞微米級別。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國家重點支持和鼓勵的發(fā)展方向,半導(dǎo)體器件封裝和內(nèi)部缺陷檢測越來越重要,而微焦點CT-半導(dǎo)體元器件X射線顯微成像系統(tǒng)(3D XRM),可以在無損不破壞樣品的情況下,清晰地觀測到電子元器件的分布情況及封裝器件的內(nèi)部結(jié)構(gòu),同時,可檢測虛焊、連錫、斷線等缺陷信息,可以三維重構(gòu)整個半導(dǎo)體器件內(nèi)部結(jié)構(gòu),對于研發(fā)和后期加工工藝的改進、提升起到重要的指導(dǎo)作用。
SkyScan 1272 High Resolution Micro CT針對半導(dǎo)體領(lǐng)域小樣品器件,如電阻電容、攝像頭的鏡頭等有著超高分辨率優(yōu)勢。
應(yīng)用實例
小型電子產(chǎn)品
Inductor – 3 µm voxel size
Chip – 2 µm voxel size
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