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晶圓薄膜厚度測量儀、硅片薄膜膜厚儀

晶圓薄膜測厚/晶圓涂層膜厚儀/晶圓涂層膜厚儀/硅片薄膜厚度測量/晶圓涂層膜厚儀/納米級薄膜測厚儀

  測量厚度、折射率、反射率和穿透率：

-     單層膜或多層膜疊加

-     單一膜層

-     液態(tài)膜或空氣層

  不同條件下的測量，包括：

-     在平面或彎曲表面

-     光斑小可達20微米

-     桌面式、XY坐標自動化膜厚測量，或在線配置

1、規(guī)格參數(shù)

2、晶圓薄膜厚度測量儀、硅片薄膜膜厚儀配件選用指南

光斑配件選用、光源選用（測量波段選擇）

3、原理簡介

 白光干涉，紫外波段——紅外波段

4、應用

可測量單層、多層薄膜

半導體膜層                                  液晶顯示器            

  光刻膠                                       OLED

  加工膜層                                     玻璃厚度

  介電層                                       ITO和TCOs

光學鍍層                                      生物醫(yī)學

  硬涂層                                        聚對二甲苯

  抗反射層                                      醫(yī)療器械

          客戶常用于測量、硅片（單晶硅）襯底沉積的氧化硅（SiO2）、非晶硅（a-Si）、多晶硅（p-Si）、氮化硅（Si3N4）、碳化硅（SiC）、光刻膠（高分子化合物）、非金屬化合物、金屬涂層（眼鏡鏡片涂層）、無機非金屬膜層（用于半導體行業(yè)如液晶面板、芯片制造工藝）等等。

5、服務項

  樣機試用、樣品代測、工程師售前售中售后全方面技術支持。