王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳

三軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：QFL3D系列

產(chǎn)品應(yīng)用

廣泛應(yīng)用于精密加工，測(cè)試測(cè)量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)等行業(yè)。

產(chǎn)品圖片

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 非接觸式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)

• 重復(fù)定位精度±75nm

• 結(jié)構(gòu)緊湊精度高

• 根據(jù)需求可定制

• 優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)。

結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)

QFL3D系列是一款非接觸式三軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，氣浮非接觸式結(jié)構(gòu)已經(jīng)證明是精密應(yīng)用中的理想選擇，適用于微納制造，測(cè)試測(cè)量和光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)等應(yīng)用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點(diǎn)，無(wú)論是微動(dòng)步距，還是速度穩(wěn)定性的要求，QFL3D都證明是終的解決方案。采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，具有零齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)性能和電子噪音小等特點(diǎn)，高精度直線光柵反饋，搭配業(yè)界*的控制系統(tǒng)，組成三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)超精密定位。

定制化設(shè)計(jì)

根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結(jié)構(gòu)，如單軸Z軸氣缸配重結(jié)構(gòu)，雙軸T形曲面加工結(jié)構(gòu)和三軸的行程大小等，都可以接受定制。為使阿貝誤差影響到小，可以定制化各軸，保證精度性能。

線纜管理

精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能，使用高質(zhì)量的偏平電纜，以確保*操作，減少故障停機(jī)時(shí)間。

潔凈室兼容性

氣浮導(dǎo)軌本質(zhì)上與潔凈室環(huán)境兼容，高質(zhì)量的無(wú)塵線纜管理系統(tǒng)也符合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，所以成為實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的理想選擇。

規(guī)格指標(biāo)