PR500/510 等離子灰化機(jī)
- 公司名稱 深圳市華德維康科技有限公司
- 品牌 YAMATO/日本雅馬拓
- 型號(hào) PR500/510
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2021/1/21 10:35:02
- 訪問次數(shù) 608
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培養(yǎng)箱,干燥箱,試驗(yàn)箱,恒溫恒濕箱,在線分析儀、電動(dòng)吸引器、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、MVE存儲(chǔ)罐、箱式電阻爐、冷凍離心機(jī)、蒸汽滅菌器、噴霧干燥器、等離子清洗機(jī)、實(shí)驗(yàn)室清洗機(jī)等實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,綜合 |
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YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510
高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510用途
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓,玻璃基板對(duì)應(yīng)
特征
·大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔
·小型一體化設(shè)計(jì)
·操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式(PR510型)
規(guī)格
型號(hào) | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式,桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 自動(dòng)協(xié)調(diào) | ||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(O2/CF4) | ||
控制 | 手動(dòng) | 觸摸屏自動(dòng)控制 | |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |