本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：需要選配冷水機(jī)

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

主要特點

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。

2、滑軌式結(jié)構(gòu)，方便取放樣品以及快速冷卻。

3、設(shè)有雙K型測溫?zé)犭娕己鸵粋€額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。

4、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：單相220V/380V 8KW

2、石英管：外徑80mm，內(nèi)徑70mm，長1500mm

3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲

4、加熱區(qū)域：400mm

5、恒溫區(qū)域：200mm

6、工作溫度：≤1100℃，連續(xù)工作400℃-1000℃

7、升降溫速率：≤10℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

10、熱偶檢測真空接口：KF-25口：1個

11、進(jìn)氣接口：2路（可根據(jù)客戶要求設(shè)計多路進(jìn)氣），精密不銹鋼針閥密封

12、爐體：1300mm×680mm×920mm

13、滑軌：600mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1780mm×1780mm×1650mm；重量：354kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管堵

1個

2

KF-25真空擋板閥

1個

可選配件

1、軟件接口

2、K型熱電偶（用于對爐膛溫度校準(zhǔn)）

3、冷水機(jī)

4、高速雙極旋片泵

5、數(shù)顯真空計

6、高真空機(jī)組（機(jī)械泵和渦輪分子泵）

5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

6、石英樣品架

7、可移動爐架（800mm×600mm）