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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設備>制樣/消解設備>電子束刻蝕系統(tǒng)>CRESTEC 電子束光刻系統(tǒng)

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CRESTEC 電子束光刻系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 CRESTEC
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 15:27:53
  • 訪問次數(shù) 1640

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術團隊,專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 150萬-200萬
應用領域 電子/電池

電子束光刻系統(tǒng)特點
1.采用高亮度和高穩(wěn)定性的TFE電子槍
2.出色的電子束偏轉(zhuǎn)控制技術
3.采用場尺寸調(diào)制技術,電子束定位分辨率(address size)可達0.0012nm
4.采用軸對稱圖形書寫技術,圖形偏角分辨率可達0.01mrad
5.應用領域廣泛,如微納器件加工,Si/GaAs


電子束光刻系統(tǒng)參數(shù)
1.小線寬:小于10nm(8nm available)
2.加速電壓:1-50kV
3.電子束直徑:小于2nm
4.套刻精度:20nm(mean+2σ)
5.拼接精度:20nm(mean+2σ)
6.加工晶圓尺寸:4-8英寸(standard),12英寸(option)
7.描電鏡分辨率:小于2nm


產(chǎn)品介紹
納米光刻技術在微納電子器件制作中起著關鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術制作中是的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀先進納米科技提供的電子束納米光刻(EBL)系統(tǒng),或稱電子束直寫(EBD)、電子束爆光系統(tǒng)。型號包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LB及CABL-4200LB。其中CABL-9000C系列小線寬可達8nm,小束斑直徑2nm,套刻 精度 20nm(mean+2σ),拼接精度 20nm(mean+2σ)。



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