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EZ6-S 靈巧型臺(tái)式勻膠機(jī)/甩膠機(jī)/旋涂?jī)x/

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 LEBO/雷博
  • 型號(hào) EZ6-S
  • 產(chǎn)地 江蘇江陰金山路201號(hào)創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/10/16 16:34:05
  • 訪問次數(shù) 5248

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       江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器開發(fā)為目標(biāo)的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè)。2020年8月,江蘇雷博科儀通過資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來的的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)分拆出來成立了江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司。兩家公司使用同一品牌 ,獨(dú)立經(jīng)營(yíng)不同系列產(chǎn)品。公司主營(yíng)高檔實(shí)驗(yàn)室儀器及半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)業(yè)務(wù)。公司技術(shù)力量雄厚,人才濟(jì)濟(jì),憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力不斷進(jìn)行新產(chǎn)品開發(fā)和創(chuàng)新實(shí)現(xiàn),在納米薄膜制備類儀器領(lǐng)域取得了顯著的市場(chǎng)地位。公司生產(chǎn)的高精度高可靠性勻膠機(jī)榮獲江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品,是國(guó)內(nèi)勻膠機(jī)全系列、多功能、定制化服務(wù)的供應(yīng)商。
       公司生產(chǎn)和銷售不同領(lǐng)域的高檔科研儀器和工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、烤膠機(jī)、提拉機(jī)、噴膠機(jī)、涂膜機(jī)、狹縫涂布機(jī)等相關(guān)產(chǎn)品;LEBO science®是我們的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)等獨(dú)立柜式機(jī)臺(tái)及工業(yè)全自動(dòng)機(jī)臺(tái)。
       公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機(jī)光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域,具有核心技術(shù)可靠、高性價(jià)比、定制化服務(wù)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 

       公司目前團(tuán)隊(duì)人數(shù)80多人,業(yè)績(jī)和規(guī)模處于快速擴(kuò)展期,2013年起年銷售額一直保持快速增長(zhǎng),目前正準(zhǔn)備二輪融資擴(kuò)產(chǎn)。公司生產(chǎn)廠房設(shè)有裝配潔凈車間及黃光試驗(yàn)區(qū),其中生產(chǎn)區(qū)域約1500平方米,辦公及倉儲(chǔ)區(qū)域約1000平方米。

勻膠機(jī),烤膠機(jī),涂膜機(jī),狹縫涂布機(jī),紫外清洗機(jī),電解雙噴儀

  勻膠機(jī)主要用于晶片涂光刻膠,有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種工作方式。
 
  送片盒中的晶片,自動(dòng)送到承片臺(tái)上,用真空吸附,在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速100—9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),起動(dòng)加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時(shí)間,轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等工藝參數(shù)均可通過編程控制。
 
  勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度一般在500—1000nm,同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,并有流量計(jì)進(jìn)行恒量控制。對(duì)涂過膠的晶片有上下刮邊功能,去掉晶片正反面多余的光刻膠。
 
  烘烤工位,有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱,微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按一定的升溫速率進(jìn)行烘干。烘烤過程在密封的爐子中進(jìn)行,通過抽真空排除揮發(fā)出來的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后,將晶片送入收片盒內(nèi)。
 
  主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵,起動(dòng)加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。
 
勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù):
 
  1.轉(zhuǎn)速可控范圍:100-12000RPM,轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
 
  2.大單步步長(zhǎng)3000S,旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率0.1S
 
  3.加速度可控范圍:100-30000RPM/S
 
  4.最大推薦旋涂可底物尺寸:6寸圓形底物
 
  5.7寸全彩觸摸屏人機(jī)界面操作
 
  6.單步或多步運(yùn)行可選,可編組10組10步程序
 
  7.超高分子材料內(nèi)腔,不銹鋼外殼
 
  8.特殊設(shè)計(jì)的防進(jìn)膠、防堵膠功能
 
  9.可升級(jí)一路精確計(jì)量自動(dòng)點(diǎn)膠功能
 
  11.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能,確保操作安全
 
  12.標(biāo)配三種直徑規(guī)格真空載物盤(直徑10mm、25mm、2英寸)
 
  14.外形尺寸:295(W)*366(D)*270(H)
 
  EZ6-S勻膠機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。可以存貯10組程序,每組程序可達(dá)10步。所有運(yùn)行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、加速度、轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間、點(diǎn)膠機(jī)選擇等都可在觸屏上方便設(shè)置。
 
  EZ6-S-EN嵌入式靈巧型EZ6勻膠機(jī):
 
  與EZ6技術(shù)參數(shù)*相同,分體嵌入式設(shè)計(jì):
 
  1.分體的EZ6勻膠機(jī),主機(jī)與控制盒分開,用電纜連接
 
  2.可嵌入手套箱或工作臺(tái)面下,降低操作高度
 
  3.觸屏安裝在手套箱內(nèi)或手套箱外可選
 


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