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ALD-1200X-4 雙通道ALD管式爐系統(tǒng)
- 公司名稱 南京淳寅嘉生物科技有限公司
- 品牌 合肥科晶
- 型號 ALD-1200X-4
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2021/3/9 17:52:01
- 訪問次數(shù) 688
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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控制面板 | 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進(jìn)行控制兩個(gè)ALD進(jìn)氣閥 情點(diǎn)擊下圖查看控制面板(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料) |
ALD進(jìn)氣閥 | 兩個(gè)ALD脈沖電磁閥(可控差在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉) |
精密液體氣相發(fā)生器 | 精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進(jìn)氣閥 |
雙溫區(qū)管式爐 | 連續(xù)工作的溫度為1100℃C 兩個(gè)溫區(qū)由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫每個(gè)加熱區(qū)長度為200mm,加熱區(qū)總長度為400mm如兩區(qū)域加熱至同一溫度時(shí),恒溫區(qū)長度為250mm爐管兩端放置管堵時(shí)兩溫區(qū)的溫度差為500℃輸入電壓∶ 208-240V AC,單向功率為4KW |
防腐型數(shù)顯真空計(jì) | 測量范圍∶ 3.8x10-5-1125 Torr耐腐蝕 對于氣體的壓力檢測具有較高的準(zhǔn)確度和重復(fù)性可實(shí)現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測,響應(yīng)時(shí)間較短易于更換插頭及傳感元件 |
真空泵(選配) | 管內(nèi)真空度可達(dá)10-2Torr 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi),如您進(jìn)行CVD實(shí)驗(yàn)可點(diǎn)擊下圖選購無油渦旋真空泵 |
混氣系統(tǒng) | 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統(tǒng)可選購恒溫控制模塊 |
更新觀念 | 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強(qiáng)原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PE-ALD+CVD)和等離子增強(qiáng)原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)系統(tǒng)(PE-ALD+PVD+CVD),用于生長各類材料(PE-ALD+CVD) ( PE-ALD+PVD +CVD) |
質(zhì)保期 | 一年保質(zhì)期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈) |
質(zhì)量認(rèn)證 | 內(nèi)置德國進(jìn)口普發(fā)泵通過ELT認(rèn)證 CE認(rèn)證 所有電器元件(>24V)均滿足UL/MET/CSA認(rèn)證 如您另付費(fèi)用,我們可保證單臺儀器通過TUV(UL61010)或CSA認(rèn)證 |
注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為001N 0.1MPa,使用時(shí)會更加準(zhǔn)確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊點(diǎn)擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭 本公司有權(quán)隨時(shí)修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)不再另行通知,但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達(dá)到和超過上述標(biāo)準(zhǔn) |
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