上海伯東代理進口 KRI 霍爾離子源 eH200
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 伯東企業(yè)（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2023/7/3 14:30:45
- 訪問次數(shù) 278
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| 供貨周期 | 一個月以上 |
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KRI 霍爾離子源 eH 200
上海伯東代理美國進口 KRI 霍爾離子源 eH200 是霍爾離子源型 eH 系列中尺寸最小, 低成本設(shè)計離子源. 霍爾離子源 eH200 適用于小型真空腔內(nèi), 例如研發(fā)分析, 薄膜沉積和離子清洗. 霍爾離子源 eH200 操作簡單是理想的生產(chǎn)工具.
KRI 霍爾離子源 eH 200 技術(shù)參數(shù)：
型號 | eH 200 |
供電 | DC magnetic confinement |
- 電壓 | 40-300V VDC |
- 離子源直徑 | ~ 2 cm |
- 陽極結(jié)構(gòu) | 模塊化 |
電源控制 | eHx-3005A |
配置 | - |
- 陰極中和器 | Filament or Hollow Cathode |
- 離子束發(fā)散角度 | > 45° (hwhm) |
- 陽極 | 標準或 Grooved |
- 水冷 | 無 |
- 底座 | 移動或快接法蘭 |
- 高度 | 2.0' |
- 直徑 | 2.5' |
-加工材料 | 金屬 |
-工藝氣體 | Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
- 安裝距離 | 6-24” |
- 自動控制 | 控制4種氣體 |
* 可選: 可調(diào)角度的支架; Filamentless; Sidewinder
KRI 霍爾離子源 eH 200 應(yīng)用領(lǐng)域：
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉積 DD
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