Diener 等離子表面處理儀 ATTO
- 公司名稱 上海爾迪儀器科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/4/9 8:16:41
- 訪問次數(shù) 1444
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
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Diener 等離子表面處理儀 ATTO
特點
· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理
· 配置自動/手動模式，實現(xiàn)控制高機(jī)能
· 10.5L腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· ８” Wafer去膠清洗
Diener 等離子表面處理儀 ATTO技術(shù)規(guī)格：
型號 | ATTO | ATTO PCCE | |
控制系統(tǒng) | 手動控制 | PCCE 控制系統(tǒng) | |
工藝氣路 | 雙路氣體 | ||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | ||
單體導(dǎo)入 | H2O等單體（選配） | ||
流量計 | 針閥流量計 | MFC流量計 | |
真空 腔體 | 材質(zhì) | 高硼硅玻璃腔體，蓋子門帶觀察窗(石英，鉸鏈門選配) | |
內(nèi)尺寸(Dia.×D) | 211×300mm | ||
容積 | 10.5L | ||
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | ||
發(fā)生器*
| 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W | ||
真空壓力計 | 指針式壓力計（選購） | 皮拉尼數(shù)字式壓力計 | |
計時器 | 旋鈕式（選購） | 數(shù)字式 | |
托盤 | 高硼硅玻璃（石英選配）W200xD260xH5mm | ||
外形尺寸（WXDxH）mm | 525x450xD450 | ||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排氣速度8m3/H | ||
上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經(jīng)銷國內(nèi)外儀器的專業(yè)公司。秉承“銷售*儀器、提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)”的宗旨，在制藥、化工、環(huán)保、科研、大學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域開拓了廣泛的市場，并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發(fā)展中，將貫徹誠信、服務(wù)、務(wù)實、創(chuàng)新的經(jīng)營理念，一如既往地把國內(nèi)外優(yōu)秀的儀器設(shè)備介紹并提供給國內(nèi)的用戶。孜孜追求，不懈努力，不斷提高服務(wù)水平，為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻(xiàn)各自的綿薄之力，與廣大用戶共同享受科技成果，在互利協(xié)作中共同進(jìn)步。
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