| 供貨周期 | 一周 | 規(guī)格 | 13.56MHz |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 | 主要用途 | 真空鍍膜、等離子清洗、磁控濺射、等離子去膠 |
| 功率等級 | 1KW |
射頻電源 射頻功率發(fā)生器：
優(yōu)點 | 功能 |
· 更長的制程正常運(yùn)行時間 · 更高的操作簡易性和靈活性 · 無需定制組件提前期的定制化性能 · 長期的使用簡易性，節(jié)省成本 · 優(yōu)質(zhì)的服務(wù)和支持 | · 精簡的流線型設(shè)計 · 標(biāo)準(zhǔn)的平臺包裝 · 高效率——低發(fā)熱量 · 200和400 VAC 的輸入選擇 · 兩個模擬用戶端口選擇 · RS-232、以太網(wǎng)、和 Profibus 通訊 · 多功能前面板 · 便利、全面的操作菜單 · CEX（相位同步）操作模式 · 遵循 SEMI™（符合或超過標(biāo)準(zhǔn)） 射頻電源 射頻功率發(fā)生器： |
| 產(chǎn)品型號 (Cesar-1310) | |
| 參數(shù) | 指標(biāo) |
信號頻率 | 13.56MHz +/- 0.005% |
輸出功率 | 10W-100W |
反射功率極限 | 200W |
射頻輸出連接器 | 50歐，N型母頭 |
諧波分量 | -50dBC |
脈沖頻率 | 1-30KHz |
脈沖占空比 | 1-99% |
同步功能 | 有 |
同步信號輸入要求 | 0-10dBm |
同步信號輸出指標(biāo) | 3-10dBm |
同步接頭 | 50歐，BNC，母頭 |
LCD顯示屏 | 256x132像素，黑/白 |
互鎖功能 | 有 |
反射功率保護(hù) | 有 |
過溫保護(hù) | 有 |
過流保護(hù) | 有 |
散熱方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
交流輸入 | 220VAC,50/60Hz |
交流電流&功率 | 6.5A,1490W（滿功率輸出） |
整機(jī)效率 | 66% |
功率因數(shù) | 97%-99% |
安裝標(biāo)準(zhǔn) | 19英寸機(jī)柜安裝 |
重量 | 19.5kg |
安裝間隙 | 兩側(cè)60mm間隙（供風(fēng)冷散熱需要） |
機(jī)械尺寸 | 88 mm (h) x 483 mm (w) x 500 mm(d) |
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