FPSEM-STE3N III族氮化物分子束外延系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀（中國）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPSEM-STE3N
- 產地 孚光精儀歐洲
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2021/12/6 22:27:40
- 訪問次數 713
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孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等光子技術分析測試儀器的規(guī)模性進口商和代理商，服務商。
孚光精儀公司以精密光學技術為特色，以光學應用為宗旨，以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產品,促進光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。
21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發(fā)展和技術提升，成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段，因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。
孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有齊全的進口精密（光學）儀器種類，龐大而可靠的國外生產商群體，和快捷高效的貿易體系，是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。
公司品牌釋意
孚：信服/conviction，
光：光學/optics
精：精密/
precision
儀：儀器/Instruments
我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業(yè)。
公司價值
孚光精儀-精通光學,服務科學
經驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密
光學儀器和科學儀器裝置，為用戶提供“舒心，省心”的進口體驗。以豐富的進口操作經驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務！
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器
熒光光學成像儀器 （包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng)，熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學儀器）
分子生物學
光學儀器（ 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等）醫(yī)用
光學儀器（內窺成像,生物活檢成像,輻射成像等）光譜分析
測試儀器 （激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等）激光粒度儀器 （基于激光和圖像技術的粒度和濃度
測試儀器）光學成像儀器 （高速成像,紅外熱成像,X射線成像）
光譜成像系統(tǒng) （包括高光譜成像,多光譜成像儀器）
燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 （基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器）
無損光學檢測儀器（如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內窺等儀器）
AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡
通用
實驗室儀器和設備（包含所有涉及光學技術的實驗儀器）服務和應用領域
生物光子學
生命科學
醫(yī)學成像
制藥
食品工程
化學和化工
實驗室儀器和實驗室建設
流體力學
工程熱物理
燃燒診斷分析
發(fā)動機研發(fā)
航空航天
地球物理科學
地質和石油勘探
半導體和微電子
先進制造
新能源
材料科學
儀器科學與技術
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客戶群體
高等院校
*系統(tǒng)研究院所
中國國有企業(yè)及其研究院所
外資企業(yè)
高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿區(qū)和天津自貿區(qū)具有倉庫，在香港設立貿易公司，擁有遍布全國的代理商，供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿易條件以及上海自貿區(qū)和天津自貿區(qū)的高效進口程序，為客戶提供高效技術儀器進口服務，為制造商提供高效出口服務。
靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(yè)（天津）貿易有限公司和輔光精密儀器（上海）有限公司,具有商檢，報關，進出口等高貿易資質，為客戶提供優(yōu)質而專業(yè)的進口服務，幫助出口商/制造商完成清關服務，并送貨到用戶地址。
外方經理定期來華辦公指導 工作園區(qū)一角\
公司電子*門辦公一角 員工文化墻一角
用戶的青睞和信任
我們高效的服務和質優(yōu)價廉的產品贏得了廣大的青睞和信賴，成為聲譽*的*產品和服務供應商。國內的科研單位多次從我公司訂購各種產品。如：
*上海光機所
*西安光機所
*安徽光機所
*長春光機所
*合肥物質研究院
*物理研究所
*光電研究院
*福建物質結構研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術研究所
中國電子集團公司53所
清華大學
北京大學
中國科技大學
哈爾濱工業(yè)大學
山東大學
武漢大學
南開大學
天津大學
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飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,航天 |
|---|---|---|---|
| 1 | 2 |
這款III族氮化物分子束外延系統(tǒng)專業(yè)為A3N材料生長設計的MBE設備,適合氨氣高溫下制備生長A3N半導體材料,提供非常廣泛的可用生長參數（有效氮通量、襯底溫度、生長過程中的真空度）。III族氮化物分子束外延系統(tǒng)設計在襯底上提供*的溫度（>1200℃）以及在長生長周期中加熱階段的可靠工作。利用氨作為活性氮源，可以生長出高質量、厚的AlN/AlGaN緩沖層。這項技術的結果是生長出位錯密度極低的活性層，為分子束外延（MBE）創(chuàng)造了記錄。
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)系列有兩種（STE3N2）和三種（STE3N3）基本類型，配備有緩沖準備室。除了NH3注入器外，III族氮化物分子束外延系統(tǒng)還可能配備氮等離子體源（可選），用于生長InGaN、InAlN和InAlN的活性層藻類：MgIn與氨水混合。
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)采用襯底支架和生長操縱器的加熱臺的patent設計，用于III氮化物生長的所有類型襯底（藍寶石、SiC、Si、AlN）提供了非常高的加熱均勻性。允許最大襯底直徑100mm,用于基礎和應用研發(fā)以及基于III型氮化物的高質量外延片的試生產。
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)主要特點：
•特殊的先進設計和經批準的生長反應器，在NH3環(huán)境和jiduan基質溫度下提供關鍵系統(tǒng)組件的長期可靠運行
•超大液氮冷凍板，用于有效的氨氣泵送，在高NH3負荷下提供連續(xù)生長
•patent鋁源，特殊設計，延長使用壽命，在氨氣環(huán)境下提供超過2μm/h的AlN生長速率，無金屬蠕變
•能夠生長質量與在不匹配襯底上生長的MOCVD層相當的GaN外延層
•在系統(tǒng)基本配置中對生長過程進行現(xiàn)場監(jiān)測的所有必要工具
•獲得patent的基板支架設計，在整個晶圓上提供高溫均勻性
•高溫生長操縱器，在不低于1200°С的生長溫度下提供高質量AlN層的連續(xù)生長
•在210-135 mm范圍內改變“源-基”距離的能力，以使用不同類型的電池和晶片OD優(yōu)化均勻性
•STE3N2雙腔型緊湊型“封裝外形”
•安裝期間的有效技術支持，包括基本工藝轉移
•簡單的系統(tǒng)操作和定期的技術維護
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)主要選項：
•準備室，帶有用于基板支架（7個）和脫氣臺的存儲盒，原子氫源專用端口
•額外的滲出細胞（5、15、25、35、60 cc的坩堝）
•附加PID調節(jié)器電源單元
•射頻等離子體氮源，帶有帶MFC的氮氣供應管線
•SiH4氣體噴射器和帶MFC的氣體供應管線
•Bayard-Alpert型束流監(jiān)測器（BFM）
•在渦輪泵中提供額外的原子基底，以及分子泵制備
•帶電源裝置的鈦升華泵
•額外的基板支架，包括用于非標準尺寸樣品的適配器
•系統(tǒng)運行的起始材料（Ga、Al、In、NH3、N2、Si、Mg、鈦金屬化藍寶石晶片等）
•基于相分離器的液氮供應系統(tǒng)
•額外的備件和附件套件
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)參數：
| 烘烤后生長室的最終真空度，Torr | <5×10-11 |
| 最大基板直徑，mm | 100 |
| 3″基板的厚度和成分不均勻度，% | ±1 |
| 生長機械手加熱元件的設計 | PBN/PG/PBN |
| 最大基板表面溫度，℃ | 1200 |
| 生長室壓力，Torr： –基板溫度為970°С，氨流量為400 sccm –基底溫度為1200°С，氨流量為100 sccm –基底溫度為500°С，氨流量為1000 sccm | <1×10-5 <5×10-6 <1×10-5 |
| 生長幾何學 | 可調，“源到基片”距離135-210 mm |
| 集成分析 | RHEED、BFM（可選）、RGA、激光干涉儀、紅外高溫計 |
| 制備室中基板退火的最高溫度，不低于，℃ | 1100 |
| 最大氨工作流量，sccm | 100 |
| 生長室的烘烤溫度，不低于，℃ | 200，無熱點形成 |
| 工藝過程自動化 | 操作員通過控制界面進行手動控制或通過配方執(zhí)行工藝 |
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