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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>電子束曝光機> LSCE-800接觸式曝光機

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LSCE-800接觸式曝光機

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河南海恒實業(yè)有限公司是中國海恒集團公司成員企業(yè),是中國*的超短超快激光器、傅里葉紅外光譜儀、拉曼光譜分析儀、微納機電、步進式光刻機以及核輻射監(jiān)測設備等科研、檢測與高校教學設備代理供應商。

公司地處中國地理中心——鄭州,是黃河·嵩山臨依之地,鄭州是華夏文明的重要發(fā)祥地,是三皇五帝活動的腹地、中華 文明軸心區(qū)。享“得中原者,得天下”的美譽。

海恒實業(yè)有限公司是眾多品牌儀器設備中國制造企業(yè)的合作代理商。公司發(fā)展具有堅實的技術支撐,與高校、研究院所達成深度合作,共同圍繞超短超快激光及成像系統(tǒng)、拉曼光譜和微納機電與光刻技術等新技術開展深入研究。能夠向用戶提供專業(yè)的技術指導、方案規(guī)劃和項目實施。公司時刻以向用戶提供高品質的產品和服務為己任,始終以解決客戶實際需求為宗旨;持續(xù)向客戶提供優(yōu)質的產品及完善的售后服務。

 

 

 

光譜檢測儀器;微納機電與光刻技術實驗儀器;水質、核輻射檢測設備;激光系列設備銷售

一、產品簡介:

接觸式曝光機指掩膜板直接與基板的光刻膠層接觸,曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相當精確,設備簡單,最小線寬可達800nm;可以配合使用多種型號的正光阻和負光阻;適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光??蓮V泛應用于半導體制造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學,微機電系統(tǒng),凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用。

二、應用領域:

半導體制造;光電電子、平板;射頻微波,衍射光學;微機電系統(tǒng);凹凸或覆晶設備等。

三、產品特點:

分辨率相當精確;

l 更廣范圍的紫外光波長選擇;

l 支持恒定光強或恒定功率模式;

l 廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;

四、詳細參數:

晶片尺寸

4英寸、6英寸、8英寸

曝光光源

365nm、380nm、395nm三種波長的LED集成光源

分辨率

3μm

對準精度

300 nm

縮放倍率

1:5

曝光方式

接觸式曝光

特征尺寸均勻性(CDU)

±10%

尺寸

170 cm*130 cm*180 cm


河南海恒實業(yè)有限公司



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