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SPE-201P 微波等離子去膠機 ICP RPS

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測整體解決方案,集研發(fā)、設計、生產、銷售及產業(yè)鏈服務為一體的企業(yè)。

是接觸角國家標準(GB/T 30693-2014)參與制定者,擁有行業(yè)內等離子實驗室,與華南理工大學創(chuàng)建等離子技術聯(lián)合實驗室,并擁有10多位行業(yè)技術專家。團隊成員以多年從事材料表面、電子電氣、工業(yè)自動化等領域研發(fā)的博士、碩士、學士為主,本科學歷以上占比50%,涵蓋業(yè)內華南理工等各大高校人才,打造業(yè)界的研發(fā)團隊。

Apple、華為、小米、OPPO、京東方、富士康、比亞迪、藍思、伯恩、兆馳、三安光電、清華大學、北京大學、復旦大學等企業(yè)及科研院校長期合作伙伴。

企業(yè)愿景:致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測整體解決方案!

企業(yè)價值觀:誠信 感恩 創(chuàng)新 專業(yè) 擔當 成長 同心 拼搏






接觸角測量儀,等離子清洗機,半導體快速退火爐、USC干式超聲波,靜電消除器

達因特半導體微波等離子去膠機是一種低壓微波等離子去膠系統(tǒng),應用于晶圓光刻膠去膠、晶圓表面活化。自由運動的電子產生Plasma進入腔體所在的料盒進行工藝清洗。通過對真空腔體壁上的窗口施加頻率為2.45GHz的微波可以產生大量的持續(xù)Plasma。腔體適用于不同尺寸的料盒。微波等離子去膠機可以提供快速的無損傷的等離子去膠效果。系統(tǒng)的等離子去膠效果是由被激活的自由基穿過料盒來實現(xiàn)的。

v 產品放置治具靈活多變,可適應不規(guī)則的產品。

v 無電極微波設計,可滿足軟性產品處理需求。

v 低溫等離子體,避免對產品產生熱損傷。

v 電中性等離子體,對產物無電破壞。

v 配置磁流體旋轉架,增加Plasma處理均勻度。

v 高效、均勻的微波等離子輸出,保障蝕刻效率。







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