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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>硅片制備/晶體生長(zhǎng)設(shè)備>晶圓切片機(jī)> 半導(dǎo)體裂片儀MC10

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半導(dǎo)體裂片儀MC10

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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似空科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家儀器設(shè)備的經(jīng)銷商。我們致力于為中國(guó)制造業(yè)和研發(fā)機(jī)構(gòu)提供高精度、符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)的儀器設(shè)備。我們也夢(mèng)想有朝一日,能夠充分掌握市場(chǎng)需求,深刻理解儀器設(shè)備的技術(shù)原理,聚集一批有激情、有理想、有技術(shù)的人,為中國(guó)的制造業(yè)升級(jí)以及中國(guó)科研走向世界,提供自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的先進(jìn)儀器設(shè)備!
儀器設(shè)備發(fā)展的是探測(cè)手段和傳感器不對(duì)被測(cè)目標(biāo)產(chǎn)生任何干擾,企業(yè)管理的是一切以市場(chǎng)為核心,不以自我的意愿抗拒市場(chǎng)的趨勢(shì),代替客戶的喜好,于是我們?nèi)∶?ldquo;似空”,希望以忘我的精神服務(wù)客戶。

 

失效分析,芯片開封,表面觀測(cè),金相研磨,光學(xué)及視頻顯微鏡,超聲波檢測(cè),X射線檢測(cè),激光微納加工等

晶片樣品最大尺寸 80mm*15mm? 晶片樣品最小尺寸 2mm*1mm
晶片樣品最佳尺寸 25mm*10mm


高精度半自動(dòng)化微米切割系統(tǒng)



       



?    概況


Sela的半導(dǎo)體裂片儀MC10是一款可以精準(zhǔn)、可靠并快速的獲得樣品截面的產(chǎn)品,他可以在一分鐘內(nèi)完成單個(gè)樣品的裂解(包括切割目標(biāo)的兩側(cè)),并確保樣品擁有微米級(jí)的精度和極gao的截面質(zhì)量。產(chǎn)品配備的軟件和算法,可以實(shí)現(xiàn)在半自動(dòng)裂解過程中精確的完成對(duì)于樣品的定位控制。

MC10系統(tǒng)制備的截面樣品,以方便樣品隨后用掃描電子顯微鏡進(jìn)行檢測(cè)或其他需要的分析


MC10采用刻痕斷裂微切割的專li工藝來制備截面樣品,斷裂沿著晶片的一個(gè)或兩個(gè)正交切割矢量傳播。





?   工藝流程


標(biāo)準(zhǔn)的切割工藝是用兩級(jí)切割機(jī)穿過晶圓段上標(biāo)記點(diǎn)的位置來制備所需的截面,微切割機(jī)制是建立在,通過在三根引腳校準(zhǔn)好的晶圓段上壓出裂縫,然后再做高精度的切割的概念上的。




?   性能


截面精度:±5微米,1西格瑪

截面質(zhì)量:自然斷裂

技術(shù):Sela精密斷裂

處理時(shí)間:1分鐘


?   適用材料


硅晶片:任何標(biāo)準(zhǔn)的晶片材料,單芯片或封裝芯片。

硅片類型:<100>

附加材料:砷化鎵、磷化銦、或者其他具有正交晶體矢量的單晶結(jié)構(gòu)。

晶片樣品厚度:最高2000微米

晶片樣品尺寸:

最大尺寸:80mm*15mm

最小尺寸:2mm*1mm

最佳尺寸:25mm*10mm

目標(biāo)位置:除了距離側(cè)邊1mm的區(qū)域以外的任意位置

最佳目標(biāo)位置:盡可能靠近切割邊緣,并與側(cè)邊對(duì)稱


?  系統(tǒng)放大倍數(shù)和分辨率


光學(xué)顯微鏡包含連續(xù)變焦系統(tǒng),可手動(dòng)對(duì)焦,并含有長(zhǎng)工作距離的5倍物鏡,物鏡的數(shù)值孔徑為0.15。

光學(xué)系統(tǒng)的分辨率為1.5微米。

顯示器上的光學(xué)放大倍數(shù)取決于視頻格式和縮放位置。

顯示器對(duì)標(biāo)準(zhǔn)視頻格式,分辨率為1280*960的視頻最大放大倍數(shù)約為1000


?   制樣效果











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