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PICOSUN™P-1200

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海磊微科學(xué)儀器有限公司 成立于2015年,總部位于上海市自由貿(mào)易區(qū),是一家集銷售、服務(wù)、技術(shù)支持及研發(fā)為一體的企業(yè)。公司主要產(chǎn)品為高精度的分析檢測、生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的備件,目前已與ParkTescan、Picosun、Instec等優(yōu)秀設(shè)備供應(yīng)商建立戰(zhàn)略合作關(guān)系。

上海磊微銷售高精度的產(chǎn)品,同時培養(yǎng)了專業(yè)的銷售和售后服務(wù)團隊,以專業(yè)的服務(wù)獲得了廣大客戶的認(rèn)可。目前,上海磊微提供的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片、顯示、太陽能等半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域客戶,同時服務(wù)于各大高校、科研院所,并以專業(yè)的銷售和售后服務(wù)獲得了廣大客戶的認(rèn)可并建立了良好的合作關(guān)系。同時在北京、成都、深圳、合肥、煙臺等地設(shè)有服務(wù)網(wǎng)點。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼的今天,上海磊微伴隨著行業(yè)不斷學(xué)習(xí)、積極提升自身水平, 為越來越多的客戶提供了專業(yè)的產(chǎn)品和服務(wù)。今后,磊微將以不斷培育的市場為依托,以先進(jìn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為核心,以高效運作的團隊為基礎(chǔ),迎來更快更好的發(fā)展。我們一直秉承團結(jié)創(chuàng)新、嚴(yán)謹(jǐn)奮進(jìn)的企業(yè)精神,秉承誠信務(wù)實、互利多贏的經(jīng)營理念,努力為客戶、為社會提供高品質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)。



原子力顯微鏡,掃描電鏡,原子層沉積ALD,探針

價格區(qū)間 面議 儀器種類 TOF
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源

PICOSUN™P-1200系統(tǒng)專門對批量的大  尺寸平面基底進(jìn)行低溫薄膜沉積, 應(yīng)用于有機光電、顯示器和OLED等領(lǐng)域。主要的應(yīng)用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋層, 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙、創(chuàng)新的設(shè)計使 得PICOSUN™ P-1200 ALD系統(tǒng)在具有制備高  均一性的高質(zhì)量ALD薄膜的同時能夠有很高  的產(chǎn)量, 并且是市場上保養(yǎng)、維護時間低, 購置成本最小的ALD系統(tǒng)。這些都已經(jīng)在實際 生產(chǎn)中得到證實。

可靠、快速且易于維護的PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)代表了工業(yè)化ALD工藝水平!


PICOSUN™P-1200襯底尺寸和類型

•    400x 500 mm(厚度~1mm) 28片/批次 (10mm片間距)

•    370x 470 mm(厚度~1mm) 28片/批次 (10mm片間距)

•    柔性襯底的臥式批量加工


工藝溫度和產(chǎn)率

•    50 – 120°C

•    產(chǎn)量達(dá)到168片/24h (100nm Al2O3)


標(biāo)準(zhǔn)工藝

•    低溫沉積Al2O3等薄膜材料


基片裝載

•    半自動裝卸

•    預(yù)真空室配備溫度控制器(25 - 80 °C),以達(dá) 到最大產(chǎn)量和低水分污染



前驅(qū)體

•    液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源

•    源瓶余量傳感器,提供清洗和裝源服務(wù)

•     7根獨立源管線, 最多加載10個前驅(qū)體源




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