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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測(cè)厚儀>其它測(cè)厚儀 >FPEH-MX10x 晶圓厚度變化測(cè)量?jī)x

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FPEH-MX10x 晶圓厚度變化測(cè)量?jī)x

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 孚光精儀
  • 型號(hào) FPEH-MX10x
  • 產(chǎn)地 www.felles.cn/qiaoqudu.html
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2024/9/11 12:04:11
  • 訪問次數(shù) 1579

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孚光精儀是進(jìn)口精密儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測(cè)試儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進(jìn)口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測(cè)試儀器產(chǎn)品,促進(jìn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀(jì)是光學(xué)世紀(jì),激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進(jìn)生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測(cè)試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和先進(jìn)制造*的分析,計(jì)量,測(cè)試和實(shí)驗(yàn)工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是*精密測(cè)試分析的有力實(shí)驗(yàn)技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個(gè)以光學(xué)為特色的進(jìn)口儀器和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備公司,擁有齊全的進(jìn)口精密(光學(xué))儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進(jìn)口分析測(cè)試技術(shù)儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction,

光:光學(xué)/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學(xué),致力于光學(xué)精密儀器事業(yè)。


公司價(jià)值
孚光精儀-精通光學(xué),服務(wù)科學(xué)

經(jīng)驗(yàn)豐富的激光和光學(xué)技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認(rèn)適合應(yīng)用的精密

光學(xué)儀器和科學(xué)儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進(jìn)口體驗(yàn)。
以豐富的進(jìn)口操作經(jīng)驗(yàn)和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進(jìn)口和購置服務(wù)!
齊全的光學(xué)種類
涵蓋了所有光學(xué)和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學(xué)成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學(xué)儀器)

分子生物學(xué)

光學(xué)儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學(xué)儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測(cè)試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測(cè)試儀器

光學(xué)成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測(cè),燃燒分析成像等儀器)

無損光學(xué)檢測(cè)儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學(xué)內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學(xué)顯微鏡

通用

實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學(xué)技術(shù)的實(shí)驗(yàn)儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學(xué)

生命科學(xué)

醫(yī)學(xué)成像

制藥

食品工程

化學(xué)和化工

 

實(shí)驗(yàn)室儀器實(shí)驗(yàn)室建設(shè)

流體力學(xué)

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動(dòng)機(jī)研發(fā)

航空航天

地球物理科學(xué)

地質(zhì)和石油勘探


半導(dǎo)體和微電子

 

 

 

 

 

先進(jìn)制造

新能源

材料科學(xué)

儀器科學(xué)與技術(shù)

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應(yīng)商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢(shì)國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進(jìn)口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進(jìn)口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進(jìn)口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報(bào)關(guān),進(jìn)出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進(jìn)口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導(dǎo)                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽(yù)*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機(jī)所

*西安光機(jī)所

*安徽光機(jī)所

*長(zhǎng)春光機(jī)所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團(tuán)公司53

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中國科技大學(xué)


哈爾濱工業(yè)大學(xué)
山東大學(xué)
武漢大學(xué)
南開大學(xué)

天津大學(xué)


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 20萬-50萬
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,綜合

高分辨率晶圓厚度和厚度變化測(cè)量?jī)xMX10x系列是德國測(cè)量硅片厚度和TTV厚度變化的儀器。它的分辨率高達(dá)10nm,可以在幾秒鐘內(nèi)適應(yīng)不同的厚度范圍。在開始掃描晶圓之前,通過標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊自動(dòng)重新校準(zhǔn)。一對(duì)電容傳感器對(duì)每個(gè)晶片上的四個(gè)徑向輪廓(45度)進(jìn)行采樣。
高分辨率晶圓厚度和厚度變化測(cè)量?jī)x應(yīng)用
晶圓研發(fā),晶圓工藝鑒定,晶圓過程控制,晶圓厚度測(cè)量,晶圓TTV總厚度變化、
高分辨率晶圓厚度和厚度變化測(cè)量?jī)xMX 10x規(guī)格

訂購代碼晶圓直徑 [mm]厚度變化TTV范圍厚度分辨率空間分辨率重復(fù)精度TTV精度
MX 102-6100, 125, 150
(4''-6'')
350,450,550,
650µm+/-50µm
10nm1mm+/-20nm
(2sigma)
+/-50nm
MX 102-8150, 200
(6''-8'')
500,600,700,
800µm,+/-50µm
10nm1mm+/-20nm
(2sigma)
+/-50nm
MX 1012200, 300




MX 1018300, 450




MX 102-6是一種測(cè)量中心厚度和晶圓厚度的晶圓測(cè)厚儀器,可測(cè)量100mm, 125mm和150mm直徑硅片晶圓的厚度變化,厚度分辨率高達(dá)10納米,可以在幾秒鐘內(nèi)適應(yīng)不同的厚度范圍,可以處理300µm到700µm的總厚度范圍。
MX 102-8是用于150 mm和200 mm晶圓的晶圓測(cè)厚儀器。在開始掃描晶圓之前,這款晶圓測(cè)厚儀通過以下方式自動(dòng)重新校準(zhǔn),使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)厚塊,一對(duì)電容傳感器
每個(gè)晶圓上有四個(gè)徑向輪廓。其中一個(gè)剖面由200個(gè)局部厚度組成值,并相對(duì)于相鄰輪廓偏移45度。
晶圓厚度變化測(cè)量?jī)x
在測(cè)量過程中,晶圓放在四根柱子的頂部,這四根柱子是安裝在移動(dòng)臺(tái)和可旋轉(zhuǎn)圓桌上。晶片可以被帶進(jìn)這個(gè)手動(dòng)或通過機(jī)器人定位。它由一組帶有錐形端。這些會(huì)自動(dòng)調(diào)整到所選的晶圓直徑。真空夾持晶片的卡盤墊由Delrin制成,通常經(jīng)過研磨,為了提供精確的靜止平面.計(jì)算機(jī)發(fā)出啟動(dòng)命令后,真空吸盤被激活。根據(jù)選定的厚度范圍,重新測(cè)量已知厚度四個(gè)量塊之一的厚度產(chǎn)生,即總距離在兩個(gè)相互面對(duì)的電容傳感器之間。然后是微處理器受控步進(jìn)電機(jī)將晶片徑向插入兩個(gè)晶片之間的氣隙
傳感器。在第一個(gè)測(cè)量位置,14位DAC測(cè)量晶片厚度,并補(bǔ)償待測(cè)量的電子厚度信號(hào)這樣,快速ADC只需對(duì)與之相關(guān)的信號(hào)變化進(jìn)行采樣參考點(diǎn)。這是連續(xù)進(jìn)行的,不會(huì)停止晶圓的運(yùn)動(dòng)。之后傳感器對(duì)返回原點(diǎn)位置后,最終測(cè)量量塊再一次這個(gè)值和第一個(gè)值之間的變化可以用來判斷總體情況.



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