AE CESAR 0230 AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
- 型號(hào) AE CESAR 0230
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/6/2 15:27:09
- 訪問次數(shù) 589
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號(hào) | 60200055 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號(hào) | CESAR?0230 |
| M/N | 60200055 | 頻率 | 2MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設(shè)備狀態(tài) | Refurbished |
AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器，在實(shí)機(jī)驗(yàn)證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。Cesar 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)，在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率，具有十分廣泛的應(yīng)用。
AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格：
設(shè)備品牌：AE(Advanced Energy)
設(shè)別型號(hào)：Cesar 0230
AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200V~ ，50/60Hz，20.0A
RF 射頻輸出：3000W，~615V，2MHz
通訊接口：RS-232，User Port，Matchbox，Diagnostic
設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱
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