德國Bruker布魯克臺階儀

集40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)，以重現(xiàn)性和標準掃描范圍而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項，用于程序化測量、低探針力表征和細節(jié)分析

臺階儀Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規(guī)格：
測試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動校平；
可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計算機系統(tǒng)：主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應(yīng)力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數(shù)據(jù)點多12萬數(shù)據(jù)點
樣品厚度高達90 mm (4英寸)，取決于配置
晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標準524um(0.02英寸)；可選1mm
垂直分辨率：大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

無論是用于科學研究還是工業(yè)生產(chǎn)，Dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業(yè)內(nèi)好的表現(xiàn)性能，高的測量重復(fù)性以及大的掃描范圍。Dektak 150集四十多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于一身，為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質(zhì)材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾?；赪indows®XP的軟件用戶界面，使用戶迅速掌握Dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡便的一鍵"進針即測量"，到多次掃描結(jié)果的自動分析。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地擴充儀器的功能。

詳細技術(shù)要求及參數(shù)：
• 測量重復(fù)性 6?，1δ (10000 ? 標準臺階)。
Step height repeatability6 Angstroms, 1 sigma (1,0000 angstrom step).
• 大掃描長度 55mm，用于測量彎曲度和波度。
Maximum scan length = 55mm, for measuring curvature and waviness.
• 配有快速更換探針附件。
Quick-change stylus removal with stylus coupled to the sensor head magnetically using
kinematic mounts and special stylus removal fixture.
• 低噪音線性 LVDT 傳感器，保證 Z 軸方向高分辨率測量。
Linear LVDT sensor for low noise, high resolution Z-axis measurements
• 電磁探針壓力調(diào)整系統(tǒng)，不管探針在何垂直位置都可保證探針壓力不變。
Electromagnetic stylus force adjustment mechanism to ensure stylus force is constant
irrespective of the vertical position of the stylus.

線性掃描——基于精確光學平面的樣品臺——提供了*的基線穩(wěn)定性，消除了幾何測量誤差。
Linear scan method – precision scan stage with optically flat reference – provides
excellent baseline stability, free of geometric measurement errors.
& 精確 6 英寸樣品臺（X-Y-Theta 手動定位）
Precision 6” sample stage with manual X-Y-Theta position adjustment
& 臺階檢測功能，可自動測試多重臺階。
Step Detection feature for automatically measuring multiple steps
&彩色攝影鏡頭（放大倍數(shù) 166x 并配有視頻圖象自動捕捉功能），為報告和演講提供豐富的圖形數(shù)據(jù)。
Color video camera standard with 166x zoom magnification with video image capture
feature for use in reports and presentations.
&視頻觀測功能使探針在整個掃描過程中均處在觀察中，保證了掃描數(shù)據(jù)和視頻圖象的相互關(guān)聯(lián)。
Video overlay feature where stylus stays in view throughout entire scan. Ensures direct
correlation between scan data and video of sample
&大于 4 英寸的樣品空間可確保大樣品的測量。
Up to 4” sample clearance for larger samples
& 多掃描程序具有生成標準統(tǒng)計報告，用以計算標準偏差和平均值等結(jié)果。

Multi-scan program recipe capability standard with statistical report generating software
to calculate standard deviation and mean.
&軟件有 30 種分析功能,包括程控數(shù)據(jù)過濾等，從而得到精確的粗糙度和波度結(jié)果。
30 Analytical functions built-in, including programmable cut-off filters for accurate
roughness and waviness calculations
& 低慣性感應(yīng)器技術(shù)的應(yīng)用可以把探針壓力調(diào)整到 1mg，從而使出眾的表面表征能力
得以實現(xiàn)。
Low inertia sensor technology to allow superior surface tracking with low stylus forces
down to 1 mg.
& 標準垂直測量范圍 524um(1 mm可選擇)
Standard 524 μm maximum vertical range (1mm optional)
• 數(shù)據(jù)采樣點可達 120,000/掃描
Acquire up to 120,000 data points per scan
& 3/8”厚的環(huán)境環(huán)境罩, 可消除靜電和電磁干擾。 

德國Bruker布魯克臺階儀