底部蜂窩隔振面包板，尺寸450mm*600mm*50mm帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；

四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)；

兩邊半圓形高穩(wěn)定性探針架，集成真空吸附開關(guān)，帶有連接標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具接口（探針卡單買），表面鐵磁不銹鋼材質(zhì)，拉絲鍍鉻處理，保證磁吸穩(wěn)定性的同時(shí)防止生銹。

三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度3μm（可選配0.5μm，1μm）;

測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；

行程：XYZ行程分別13mm；

固定方式：可調(diào)磁吸吸附；

探針夾持角度：偏擺60°；

配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。

體式顯微鏡；

放大倍率：40.2~270倍；

圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；

目鏡：采用高眼點(diǎn)超廣角目鏡，視場Φ23mm；

外置高亮無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源；

配置顯微鏡萬向支架；

高清顯示器及顯示器萬向支架；

標(biāo)配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25*25mm，分辨率3um；

可據(jù)需求選配如激光顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。

臺(tái)面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質(zhì)；

4英寸3個(gè)吸附孔，6/8英寸4個(gè)吸附孔，12英寸5個(gè)吸附孔；

標(biāo)配進(jìn)口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運(yùn)行；

搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)；

背電極設(shè)計(jì)：可引出背電極；

吸附孔圓槽設(shè)計(jì)，增強(qiáng)吸附能力；

單獨(dú)吸附孔道，獨(dú)立真空吸附開關(guān)；

真空吸附套裝附件。

鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。