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STACIS III- TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)
參考價 | ¥ 9999 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 青島森泉光電有限公司
- 品牌 TMC
- 型號 STACIS III-
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/8 11:19:43
- 訪問次數(shù) 1030
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,綜合 |
TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)
STACIS ® III 是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復(fù)雜的控制算法和zui 先 進的壓電致動器,通過連續(xù)測量地板活動,然后膨脹和收縮壓電致動器以濾除地板運動來實時消除振動。
STACIS 最初設(shè)計用于隔離*半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備,現(xiàn)在是噪聲環(huán)境中最敏感儀器的行業(yè)標準解決方案,包括但不限于半導(dǎo)體工廠、故障分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究。
STACIS III 包括一個新的和改進的數(shù)字控制器,DC-2020。憑借新的雙核處理器和以太網(wǎng)以及前后面板的 USB 串行端口,這種新的高級控制系統(tǒng)為用戶提供了現(xiàn)代且易于使用的圖形用戶界面 (GUI)。STACIS 在全球范圍內(nèi)成功安裝了數(shù)百次,是適用于對振動最敏感的儀器的理想隔振系統(tǒng)。
優(yōu)勢:
STACIS 的硬度是空氣隔振器的數(shù)百倍,不受空氣隔振系統(tǒng)的任何限制。沒有“軟”懸架,而且與主動空氣系統(tǒng)不同,STACIS 可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的工具下方,兩個系統(tǒng)都經(jīng)過全面優(yōu)化。
du特的串行設(shè)計和專有的高壓壓電技術(shù)
可實現(xiàn)從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動帶寬和wu與lun比的真正主動隔振,從 2 Hz 開始可減少 90% 的振動。
TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)
性能規(guī)格
主動自由度 | 6個 |
有效帶寬 | 0.6 赫茲 - 150 赫茲 |
被動固有頻率 | 18 赫茲垂直和水平 |
有效主動諧振頻率 | 0.5赫茲 |
1 Hz 時的隔離 | 40% - 70% |
≥2 Hz 時的隔離 | ≥90% |
10 磅(4.5 千克)階躍輸入后的穩(wěn)定時間(10:1 減少) | 0.3秒 |
內(nèi)部噪音 | <0.1 納米均方根 |
每個隔離器的工作負載范圍 | 低容量:182-500 千克(400-1100 磅) 中容量:410-955 千克(900-2100 磅) 高容量:864-2045 千克(1900-4500 磅) |
剛度(1000 磅/454 千克質(zhì)量,中等容量隔離器) | 40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛頓/米) |
從隔離器發(fā)出的磁場最大為 4 英寸(102 毫米) | <0.02 μG 寬帶 RMS |
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