FETS-2000是一款擴(kuò)展靈活的變溫鐵電材料測試系統(tǒng)，也是一款可替代德國aixACCT公司生產(chǎn)的TF Analyzer 2000鐵電分析儀的國產(chǎn)鐵電材料性能測試設(shè)備，可廣泛地應(yīng)用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜、厚膜、體材料和電子陶瓷、鐵電傳感器/執(zhí)行器/存儲(chǔ)器等領(lǐng)域的研究。

鐵電參數(shù)測試主要性能指標(biāo)：

a. 外接5 kV高壓放大器（可擴(kuò)展至10 kV）（國產(chǎn)、進(jìn)口均適用）；

b. 動(dòng)態(tài)電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 5 kHz；

c. 最大電荷解析度：10 mC（可擴(kuò)展）；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負(fù)載電容1 nF）；

e. 漏電流測量范圍 1 pA ～ 20 mA（可擴(kuò)展），分辨率0.1 pA；

f. 配有高壓擊穿保護(hù)模塊；

g.溫度范圍：-160℃～260℃。

本測試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器、變溫綜合測試平臺(tái)（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺(tái)（配高壓探針）、計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器、內(nèi)置驅(qū)動(dòng)電壓、電荷積分器、可編程放大器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、通訊總線等功能，主控器提供擴(kuò)展外置高壓放大器接口，可擴(kuò)展±5 kV或±10 kV的高壓放大器。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測試時(shí)，無需改變測試樣品的連接，即可實(shí)現(xiàn)滯回，脈沖，漏電，IV等性能測試。

本測試系統(tǒng)鐵電性能測試采用改進(jìn)的Sawyer- Tower測量方法，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環(huán)節(jié)，容易定標(biāo)和校準(zhǔn)，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測量準(zhǔn)確度。

變溫鐵電材料測試系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，不同的模塊對應(yīng)不同的電特性測量。

鐵電模塊測試功能：

動(dòng)態(tài)電滯回線DHM

靜態(tài)電滯回線SHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

電擊穿強(qiáng)度BDM

漏電流LM

電流-偏壓

保持力RM

印跡印痕IM

變溫測試THM

可選的模塊：

POM 模塊實(shí)現(xiàn)極化測量功能

CVM模塊實(shí)現(xiàn)小信號電容測試，獲得C-V曲線

PZM模塊實(shí)現(xiàn)壓電特性測試

DPM模塊測試介電性能

RTM模塊測試電阻/電阻率性能

CCDM模塊實(shí)現(xiàn)電容充放電測試。