德國電子束曝光
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/7/10 8:27:32
- 訪問次數(shù) 825
產(chǎn)品標簽
聯(lián)系方式:汪經(jīng)理13810961731 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
應用領域 | 環(huán)保,化工,電子 |
---|
德國電子束曝光利用電子束在涂有電子抗蝕劑的晶片上直接描畫或投影復印圖形的光刻技術。電子抗蝕劑是一種對電子敏感的高分子聚合物。經(jīng)過電子束掃描過的電子抗蝕劑發(fā)生分子鏈重組,使曝光圖形部分的抗蝕劑發(fā)生化學性質(zhì)改變,經(jīng)過顯影和定影,獲得高分辨率的抗蝕劑曝光圖形?,F(xiàn)代的電子束光刻設備已經(jīng)能夠制作小于10納米的精細線條結(jié)構(gòu),也可制作光學掩模版。
德國電子束曝光主要功能:曝光速度快精度高,可采用大寫場大束流進行曝光,適用于科研及小批量生產(chǎn)中使用;自動化程度高,除了放樣取樣外,整個曝光過程只需要編輯曝光的相關參數(shù),其他過程均可自動完成。