IRE-200 膜厚測試儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 武漢頤光科技有限公司
- 品牌 頤光科技
- 型號
- 產(chǎn)地 武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)金融港四路10號6號樓(自貿(mào)區(qū)武漢片區(qū))
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/7/4 13:34:43
- 訪問次數(shù) 1958
產(chǎn)品標簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣 |
一、概述
IRE-200光學(xué)薄膜測厚儀是一款超高精度的外延層厚度測量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測量。
■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持;
■ 自定義mapping功能;
■ 高檢測速率:Si標準外延片測量25點≤3min;
■ 高檢測精度:≤0.01um 。
二、產(chǎn)品特點
1)設(shè)備采用高性能光源模塊,光源穩(wěn)定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1。
2)搭配自主研發(fā)算法軟件,可精準快速地獲取測量結(jié)果。
3) 搭配自主研發(fā)的mapping運動臺,定位精準、測量速度快。
三、產(chǎn)品應(yīng)用
IRE-200廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測。
SiC EPI量測案例
技術(shù)參數(shù)