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A-9531-0250-04 RENISHAW光柵尺傳感器

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    英國(guó)RENISHAW雷尼紹光柵尺傳感器可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)

RENISHAW光柵尺,也稱為RENISHAW光柵尺位移傳感器RENISHAW光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。RENISHAW光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè),來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。RENISHAW光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。

RENISHAW光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。圖1所示的就是RENISHAW光柵尺的結(jié)構(gòu)。

光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭)。

莫爾條紋

以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,并且兩個(gè)RENISHAW光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (圖2所示)。嚴(yán)格地說(shuō),莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。

W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征:

(1)莫爾條紋的變化規(guī)律

兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距,莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則

W=ω /θ

若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的RENISHAW光柵尺一般造價(jià)較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,RENISHAW光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí),在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動(dòng),莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。

在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,柵線為50線對(duì)/mm的RENISHAW光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量,即要檢測(cè)其大小,又要檢測(cè)其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2,為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖,需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后,通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較,就可以得到RENISHAW光柵尺的移動(dòng)方向。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù),可以得到RENISHAW光柵尺的位移和速度。

RENISHAW光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活,可安裝在機(jī)床的不同部位。

一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)(滑板)上,隨機(jī)床走刀而動(dòng),讀數(shù)頭固定在床身上,盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí),則必須增加輔助密封裝置。另外,一般情況下,讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上,此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定,而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上(如滑板)。

1、RENISHAW光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝RENISHAW光柵尺傳感器時(shí),不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上,更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度。千分表固定在床身上,移動(dòng)工作臺(tái),要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個(gè)要求,則需設(shè)計(jì)加工一件RENISHAW光柵尺基座。

基座要求做到:(1)應(yīng)加一根與RENISHAW光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座(最好基座長(zhǎng)出RENISHAW光柵尺50mm左右)。(2)該基座通過(guò)銑、磨工序加工,保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外,還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí),調(diào)整讀數(shù)頭位置,達(dá)到讀數(shù)頭與RENISHAW光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,讀數(shù)頭與RENISHAW光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2、RENISHAW光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上,但不要上緊,把千分表固定在床身上,移動(dòng)工作臺(tái)(主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng))。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度,調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置,使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí),把M2螺釘上緊。

在安裝光柵主尺時(shí),應(yīng)注意如下三點(diǎn):

(1) 在裝主尺時(shí),如安裝超過(guò)1.5M以上的光柵時(shí),不能象橋梁式只安裝兩端頭,尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后,最好用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)(或幾點(diǎn))。(3)不能安裝卡子時(shí),最好用玻璃膠粘住RENISHAW光柵尺身,使基尺與主尺固定好。

3、RENISHAW光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝

在安裝讀數(shù)頭時(shí),首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求,然后再安裝讀數(shù)頭,其安裝方法與主尺相似。最后調(diào)整讀數(shù)頭,使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi),其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。

4、RENISHAW光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后,一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置,以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端,從而損壞RENISHAW光柵尺。另外,用戶在選購(gòu)光柵線位移傳感器時(shí),應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的RENISHAW光柵尺,以留有余量。

5、RENISHAW光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后,可接通數(shù)顯表,移動(dòng)工作臺(tái),觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。

在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置,來(lái)回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同(或回零)。另外也可使用千分表(或百分表),使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零(或記憶起始數(shù)據(jù)),往返多次后回到初始位置,觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否一致。

通過(guò)以上工作,RENISHAW光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來(lái)講,鐵屑、切削液及油污較多。因此,傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩,護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定,護(hù)罩通常采用橡皮密封,使其具備一定的防水防油能力 [2] 。

使用注意事項(xiàng)編輯 播報(bào)

(1)RENISHAW光柵尺傳感器與數(shù)顯表插頭座插拔時(shí)應(yīng)關(guān)閉電源后進(jìn)行。

(2)盡可能外加保護(hù)罩,并及時(shí)清理濺落在尺上的切屑和油液,嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入RENISHAW光柵尺傳感器殼體內(nèi)部。

(3)定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動(dòng)。

(4)為延長(zhǎng)防塵密封條的壽命,可在密封條上均勻涂上一薄層硅油,注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。

(5) 為保證RENISHAW光柵尺傳感器使用的可靠性,可每隔一定時(shí)間用乙醇混合液(各50%)清洗擦拭RENISHAW光柵尺面及指示光柵面,保持玻璃RENISHAW光柵尺面清潔。

(6) RENISHAW光柵尺傳感器嚴(yán)禁劇烈震動(dòng)及摔打,以免破壞RENISHAW光柵尺,如RENISHAW光柵尺斷裂,RENISHAW光柵尺傳感器即失效了。

(7) 不要自行拆開RENISHAW光柵尺傳感器,更不能任意改動(dòng)主柵尺與副柵尺的相對(duì)間距,否則一方面可能破壞RENISHAW光柵尺傳感器的精度;另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對(duì)摩擦,損壞鉻層也就損壞了柵線,以而造成RENISHAW光柵尺報(bào)廢。

(8) 應(yīng)注意防止油污及水污染RENISHAW光柵尺面,以免破壞RENISHAW光柵尺線條紋分布,引起測(cè)量誤差。

(9) RENISHAW光柵尺傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作,以免腐蝕光柵鉻層及RENISHAW光柵尺表面,破壞RENISHAW光柵尺質(zhì)量。

合理選取RENISHAW光柵尺,正確使用使其物盡其能;也有互相矛盾的一面,安裝位置既要盡可能靠近驅(qū)動(dòng)軸線,又要盡量遠(yuǎn)離機(jī)床的發(fā)熱源(如絲杠副),這就要看機(jī)床設(shè)計(jì)師,怎樣兼顧折衷考慮各方面因素,綜合考慮RENISHAW光柵尺選型、設(shè)計(jì)、安裝、捌試等因素,得到比較合理的性價(jià)比,勢(shì)必取得比較好的控制檢測(cè)效果。?通過(guò)以上幾個(gè)步驟的調(diào)試,一臺(tái)數(shù)控機(jī)床一般都能獲得很好的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度),達(dá)到機(jī)床設(shè)計(jì)要求,能很容易滿足用戶的需求,對(duì)數(shù)控機(jī)床的制造廠家和使用用戶有著非凡的現(xiàn)實(shí)意義。




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