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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

eLINE Plus -專為多種原位納米加工技術(shù)的最寬帶寬應(yīng)用而設(shè)計(jì),超越了經(jīng)典的電子束光刻(EBL)。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

世界上專業(yè)EBL系統(tǒng)中最小的波束尺寸(< 1.6 nm)

EBL抗蝕劑的線寬小于5nm

使用電子束誘導(dǎo)沉積(EBID)技術(shù)演示了亞7納米線

新的eLINE Plus被設(shè)計(jì)的多重技術(shù)納米光刻系統(tǒng),用于所有科學(xué)學(xué)科的廣泛應(yīng)用

ELINEPlus公司的先進(jìn)光刻基礎(chǔ)設(shè)施使超高分辨率和大面積納米制造成為可能,并統(tǒng)一了電子束光刻、納米工程和超高分辨率成像的世界。

專業(yè)和無損的EBL:保證系統(tǒng)規(guī)格和小的光束尺寸與全球應(yīng)用支持基礎(chǔ)設(shè)施相結(jié)合,使eLINE Plus成為努力有效地建立納米制造新前沿的學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)的理想解決方案。

3. 產(chǎn)品參數(shù):

最小線寬≤8nm    光柵周期≤40nm

50KV加速電壓下,寫場(chǎng)可在0.5μm~500μm的范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)

肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子束源,最高加速電壓≥50kv,束電流范圍至少為50pA~40nA,最大束電流≥40nA

圖像發(fā)生器掃描頻率≥50MHz,20bit分辨率,最小步距為0.5nm

通用樣品架可承載散片,4inch以下的襯底,4inch專用晶圓專用樣品架,6inch專用晶圓專用樣品架,多樣品專用樣品架

拼接精度:

100μm寫場(chǎng)下,拼接精度≤20nm【mean】+3sigma

500μm寫場(chǎng)下,拼接精度≤30nm【mean】+3sigma

套刻精度:

100μm寫場(chǎng)下,拼接精度≤20nm【mean】+3sigma

500μm寫場(chǎng)下,拼接精度≤25nm【mean】+3sigma

束電流穩(wěn)定性<0.2%/h   束位置穩(wěn)定性<120nm/8h





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