化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>干法工藝設(shè)備>等離子體刻蝕設(shè)備>customized-12 反應(yīng)性離子刻蝕系統(tǒng)RIE
customized-12 反應(yīng)性離子刻蝕系統(tǒng)RIE
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 OXFORD/英國牛津
- 型號 customized-12
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/6 15:18:55
- 訪問次數(shù) 931
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
可為多種材料提供各向異性干法刻蝕工藝，兼容200mm以下所有尺寸的晶圓，快速更換到不同尺寸的晶圓工藝，電極的適用溫度范圍寬，-150°C至400°C。反應(yīng)性離子刻蝕 （reaction ionetching；RIE）是制作半導(dǎo)體集成電路的蝕刻工藝之一。在除去不需要的集成電路板上的保護(hù)膜時(shí)，利用反應(yīng)性氣體的離子束，切斷保護(hù)膜物質(zhì)的化學(xué)鍵，使之產(chǎn)生低分子物質(zhì)，揮發(fā)或游離出板面，這樣的方法稱為反應(yīng)性離子刻蝕。
2. 設(shè)備用途/原理
III-V族材料刻蝕工藝；
固體激光器 InP刻蝕；
VCSEL GaAs/AlGaAs刻蝕；
射頻器件低損傷 GaN刻蝕；
類金剛石 （DLC） 沉積；
二氧化硅和石英刻蝕；
用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進(jìn)行失效分析的干法刻蝕解剖工藝，可處理封裝好的芯片, 裸晶片，以及200mm晶圓用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模沉積和刻蝕。
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