激光小角散射儀，通過收集和記錄散射光的強度和角度信息，獲得樣品的亞微米級特征尺寸、粗糙度、分布等表面特性。配備低發(fā)散角的激光光源、高速高靈敏度的CCD探測器，兼容多樣化的樣品環(huán)境，輕松滿足復雜多樣的測試需求。
激光光源 | |
波長 | 390 nm-780 nm |
功率 | 1 W-100 W |
功率穩(wěn)定性 | ＜1% |
發(fā)散角 | ＜0.015° |
樣品架/樣品臺 | |
常規(guī)樣品臺 | 樣品臺在垂直于入射光路的Z（豎直）方向自動移動的行程：±10 mm精度不低于 1 μm，樣品可精確對中；同時樣品臺X軸和Z軸，可沿著Y（光路）方向自動移動的行程±75 mm； |
多維度樣品臺 | X /Y軸行程±75 mm，Z軸行程±10 mm，精度1 μm； β、γ轉角±7.5°，精度0.001°；α轉角360°，精度0.001°； |
其他原位樣品臺 | 支持在各種原位環(huán)境下（溫度、拉伸、梯度）等進行測試 |
探測器 | |
傳感器 | CMOS |
像元尺寸 | 10 μm×10 μm |
信噪比 | 40 dB |
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