化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>掩模版和中間掩模版制造設(shè)備>掩模光刻膠處理及清洗設(shè)備>CPC15/35/80/120/150 CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機
CPC15/35/80/120/150 CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 CIF
- 型號 CPC15/35/80/120/150
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/10 15:05:09
- 訪問次數(shù) 878
聯(lián)系方式：謝澤雨 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
一、CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機 產(chǎn)品介紹
CIF推出的CPC系列生產(chǎn)型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設(shè)計的等離子體表面處理設(shè)備，配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數(shù)生產(chǎn)場景。適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應(yīng)用，設(shè)備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，樣品處理重復性、一致性好。
二、CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機 產(chǎn)品特點
1. 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，0~99個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機器運行、停止提示。
2. PLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
3. 采用質(zhì)量流量計，氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。
4. 采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
5. HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
6. 316不銹鋼真空倉，潔凈無污染。
7. 全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)。
8. 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。
9. 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計，設(shè)備占用空間小。
10. 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。
11. 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
12. 使用成本低、耗損小。
13. 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，安裝與維護，簡便方便。
14. 安全保護，倉門打開，自動關(guān)閉電源。
三、技術(shù)參數(shù)
型號 | CPC15 | CPC35 | CPC80 | CPC120 | CPC150 |
艙體尺寸 | W240xH240xD260mm | W320xH320xD350mm | W420xH400xD500mm | W500xH500xD450mm | W500xH500xD600mm |
艙體容積 | 15L | 35L | 80L | 120L | 150L |
有效尺寸 | W210xD245mm | W300xD335mm | W400xD490mm | W500xxD440mm | W500xxD590mm |
電極分布 | 2層 | 3-4層 | 6層 | 8-10層 | 10-15層 |
射頻電源 | 13.56MHz， 0-300W | 13.56MHz， 0-300W | 13.56MHz，0-600W | 13.56MHz，0-1000W | 13.56MHz，0-1000W |
匹配器 | 自動匹配器 | ||||
激發(fā)方式 | 電容式 | ||||
電 流 | 1.2A | ||||
時間設(shè)定 | 1-99分59秒 | ||||
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | ||||
真空度 | 100pa以內(nèi) | ||||
控制系統(tǒng) | 7寸PLC觸摸屏控制 | ||||
工藝氣體 | 2氣路 MFC（可選裝3路） | ||||
真空泵 | 抽速約8m3/h | 抽速16m3/h | 抽速40m3/h | 抽速60m3/h | 抽速約60m3/h |
電 源 | AC220V 50-60Hz | AC220V 50-60Hz | AC380V 50-60Hz | AC380V 50-60Hz | AC380V 50-60Hz |
備注：根據(jù)用戶要求，可選中頻電源40KHz,功率300-2000W。
采購中心
化工儀器網(wǎng)