化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備> 半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀
半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀
- 公司名稱 上海波銘科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/23 10:32:11
- 訪問次數(shù) 6561
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光學(xué)測(cè)試系統(tǒng);光源/激光器;光譜儀;光電探測(cè)器;電子數(shù)據(jù)采集器;光學(xué)平臺(tái);電動(dòng)位移臺(tái);手動(dòng)位移臺(tái);調(diào)整架;光學(xué)元件
半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀
半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀這款高度集成的桌面儀器利用亮場(chǎng)和暗場(chǎng)顯微成像技術(shù),通過自動(dòng)化的圖像捕捉以及人工智能分析工具,為晶圓表面缺陷的檢測(cè)提供了快速且高效的解決方案。設(shè)備主要用于檢測(cè)如襯底片和外延片的缺陷,包括位錯(cuò)、顆粒、凹坑、劃痕和污染等類型的瑕疵,并且可以根據(jù)客戶的需求進(jìn)行定制服務(wù)
光學(xué)成像系統(tǒng):
10X 遠(yuǎn)場(chǎng)消色差長(zhǎng)工距顯微鏡頭
0.8X 擴(kuò)視野相機(jī)轉(zhuǎn)接鏡筒
500萬像素采集相機(jī)
LED同軸反射光源
輔助自動(dòng)聚焦激光傳感器
自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái):包括4寸,6寸和8寸Wafer載物臺(tái)夾具1套
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)