電子束蒸鍍
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/7/10 13:25:51
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應用領域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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電子束蒸鍍系統(tǒng)為一種物理氣相沉積(PVD)技術,其中電子束是由鎢絲所產生的,並受到電場和磁場的驅動而朝向蒸發(fā)材料,並將其材料由固態(tài)轉化為氣態(tài)以沉積在基板表面上。且該過程需在高真空環(huán)境中,以通過自由路徑的方式在基板表面上形成薄膜。
電子束蒸鍍比熱蒸發(fā)更具有優(yōu)勢。它能夠在非常高的溫度下熔化材料,如鎢、石墨...等等。結合石英震盪片的反饋信號,可輕鬆控制蒸發(fā)速率,以調節(jié)電子束電流並蒸發(fā)更多材料而不會破壞真空。因此,電子束蒸發(fā)用於薄膜製程領域,包括半導體、光學、太陽能電池板、玻璃和建築玻璃,因此它們具有所需的導電,反射,透射和電子等特性。