電子束蒸鍍
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/7/10 13:25:51
- 訪問次數(shù) 524
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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電子束蒸鍍系統(tǒng)為一種物理氣相沉積(PVD)技術(shù),其中電子束是由鎢絲所產(chǎn)生的,並受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)而朝向蒸發(fā)材料,並將其材料由固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)以沉積在基板表面上。且該過程需在高真空環(huán)境中,以通過自由路徑的方式在基板表面上形成薄膜。
電子束蒸鍍比熱蒸發(fā)更具有優(yōu)勢(shì)。它能夠在非常高的溫度下熔化材料,如鎢、石墨...等等。結(jié)合石英震盪片的反饋信號(hào),可輕鬆控制蒸發(fā)速率,以調(diào)節(jié)電子束電流並蒸發(fā)更多材料而不會(huì)破壞真空。因此,電子束蒸發(fā)用於薄膜製程領(lǐng)域,包括半導(dǎo)體、光學(xué)、太陽(yáng)能電池板、玻璃和建築玻璃,因此它們具有所需的導(dǎo)電,反射,透射和電子等特性。