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超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2024/7/10 13:30:03
  • 訪問次數(shù) 724

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì),專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子

超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備介紹

超高真空環(huán)境的特徵為其真空壓力低於10-8至10-12 Torr,在化學(xué)物理和工程領(lǐng)域十分常見。超高真空環(huán)境對(duì)於科學(xué)研究非常重要,因?yàn)閷?shí)驗(yàn)通常要求,在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中,表面應(yīng)保持無污染狀態(tài)和使用較低能量的電子和離子的實(shí)驗(yàn)技術(shù)的使用,而不會(huì)受到氣相散射的過度干擾。在這樣超高真空環(huán)境下使用電子束蒸鍍,SYSKEY可以提供高品質(zhì)的薄膜。

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針對(duì)超高真空和高溫加熱設(shè)計(jì)基板旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)構(gòu),使用陶瓷培林旋轉(zhuǎn),並在內(nèi)部做水冷循環(huán)來保護(hù)機(jī)構(gòu)以確保長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。

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超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 光學(xué)材料研究(LED/Laser Diode)。

  • 光電元件。

  • 半導(dǎo)體元件。

  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和其應(yīng)用。

  • 腔體為使用金屬密封圈並可烘烤至150oC。

  • 腔體的極限真空度約為10-10Torr。

配置和優(yōu)點(diǎn)選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達(dá)8吋晶圓。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源(1/2/4/6坩堝)。

  • 自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)。

  • 具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源。

  • 基板具有冷卻(液態(tài)氮溫度低至-70°C)或加熱(溫度最高800°C)等功能。

  • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。

  • 結(jié)合離子源、濺鍍槍、熱蒸發(fā)源、等離子清潔...。

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